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[發(fā)明專利]環(huán)保型硅片清洗裝置在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201710907782.0 申請(qǐng)日: 2017-09-29
公開(kāi)(公告)號(hào): CN107511359A 公開(kāi)(公告)日: 2017-12-26
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 谷香梅 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 谷香梅
主分類號(hào): B08B3/06 分類號(hào): B08B3/06;B08B3/08;B08B3/10;B08B3/14;B08B1/02;B08B1/00;B08B13/00;F26B5/08
代理公司: 暫無(wú)信息 代理人: 暫無(wú)信息
地址: 210000 江蘇省南京*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 環(huán)保 硅片 清洗 裝置
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種環(huán)保型硅片清洗裝置,其特征在于:包括支架、清洗槽、表面開(kāi)有孔洞的轉(zhuǎn)筒,清洗槽設(shè)置在支架上,清洗槽內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)筒,清洗槽下方設(shè)有電機(jī),電機(jī)輸出端連接轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸延伸至清洗槽內(nèi),轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)筒連接,所述轉(zhuǎn)筒內(nèi)壁上設(shè)有若干個(gè)硅片存放裝置,所述清洗槽上端設(shè)有進(jìn)水管,清洗槽內(nèi)設(shè)有溫度傳感器、加熱裝置、超聲波發(fā)生器,清洗槽外側(cè)設(shè)有控制器,溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接,所述清洗槽底部連接出水管,出水管下端連接凈化裝置,凈化裝置下端連接排水管,硅片存放裝置外側(cè)設(shè)有電動(dòng)馬達(dá),硅片存放裝置內(nèi)設(shè)有刷毛。

2.按照權(quán)利要求1所述的環(huán)保型硅片清洗裝置,其特征在于:所述加熱裝置為加熱管。

3.按照權(quán)利要求1所述的環(huán)保型硅片清洗裝置,其特征在于:所述電機(jī)為正反轉(zhuǎn)電機(jī)。

4.按照權(quán)利要求1所述的環(huán)保型硅片清洗裝置,其特征在于:所述凈化裝置由上至下依次包括過(guò)濾層、分解層、殺菌層。

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