[發明專利]反射式光學壓力傳感器

在審

• 申請號: 201710906643.6
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN107764442A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 高文強;潘倩;趙新未;沈世華;郝蕊蕊;柏雪;焦新兵
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24;G01L11/02
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司31001
• 代理人: 吳寶根,徐穎

1.一種反射式光學壓力傳感器，其特征在于，包括光源發射器、透鏡、分束裝置、第一光強探測器、第二光強探測器及檢測單元，檢測單元包括從上到下依次貼合的玻璃片、二氧化硅小球層、石榴石、用磁控濺射法在石榴石生長的鋁薄膜及最后一層兩端通電的石墨；

激光發射器輸出的激光通過透鏡聚焦輸出再經分束裝置分束，一束反射被第一光強探測器直接接收，另一束透射進入檢測單元，入射光斜入射到檢測單元的玻璃片上，穿透玻璃片后依次穿過二氧化硅小球層和石榴石后，被石榴石背面的鋁薄膜反射，反射光再經過石榴石、二氧化硅小球層，從玻璃片輸出，反射光輸出后被第二光強測器接收；

檢測單元的石墨通電電壓的變化致使檢測單元中的二氧化硅小球層受熱發生形變從而引起檢測單元反射光光強發生變化，通過比較兩個光強探測器的前后光強變化關系即可獲得壓力參數。

2.根據權利要求1所述反射式光學壓力傳感器，其特征在于，所述激光發射器作為光源單元用于提供全偏振光，其波長300nm～1800nm。

3.根據權利要求1所述反射式光學壓力傳感器，其特征在于，所述二氧化硅小球層中二氧化硅小球的直徑為10nm～10μm。

4.根據權利要求1所述反射式光學壓力傳感器，其特征在于，所述石榴石上的鋁薄膜厚度為10nm～20μm。

5.根據權利要求1至4任意一項所述反射式光學壓力傳感器，其特征在于，所述檢測單元入射光與反射光的夾角為10°至150°。