[發明專利]石墨膜的制造方法在審
| 申請號： | 201710906077.9 | 申請日： | 2017-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN109573999A | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 吳家浩;賴昱辰 | 申請（專利權）人： | 達邁科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C01B32/205 | 分類號： | C01B32/205 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 中國臺灣新竹*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨膜 石墨化 制造 聚酰亞胺薄膜 熱處理條件 升溫區間 前驅物 碳化 | ||
【權利要求書】：
1.一種石墨膜的制造方法，其包括有下列步驟：
提供一聚酰亞胺膜為前驅物；
對該聚酰亞胺膜進行碳化熱處理，以形成碳化膜；及
將該碳化膜進石墨化熱處理，其熱處理2200℃至最高石墨化溫度的平均升溫速率為每分鐘3℃以下。
2.如權利要求1所述的石墨膜的制造方法，其中，該碳化熱處理500～800℃升溫區間的平均升溫速率為每分鐘2℃以下。
3.如權利要求2所述的碳化膜的制造方法，其中，該碳化熱處理500～800℃升溫區間的平均升溫速率為每分鐘1℃以下。
4.如權利要求1所述的碳化膜的制造方法，其中，該聚酰亞胺膜為疊狀或卷狀。
5.如權利要求1所述的碳化膜的制造方法，其中，該最高碳化溫度為1300℃。
6.如權利要求1所述的碳化膜的制造方法，其中，該其石墨化熱處理2200℃至最高石墨化溫度的平均升溫速率為每分鐘1℃以下。
7.權利要求1所述的碳化膜的制造方法，其中，該最高石墨化溫度為2800℃。
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