[發明專利]一種硅棒生產用表層清潔裝置

在審

• 申請號: 201710905703.2
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN107486421A
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 呂偉南
• 申請（專利權）人: 江蘇秉宸科技有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B15/04
• 代理公司: 無錫大揚專利事務所(普通合伙)32248
• 代理人: 何軍

技術領域

本發明涉及清潔裝置技術領域，具體為一種硅棒生產用表層清潔裝置。

背景技術

通常，硅棒被用作半導體裝置、太陽能電池、化學加工設備、工業系統、或者小尺寸的和其它高度集成精密裝置的重要原料，它們分別由具有高純度或半導體性能的材料構成，隨著硅棒的大量使用，其生產裝置也多種多樣，但生產裝置的清潔工作一直是個難題。

但現有的清潔裝置設計的不很合理，裝置與外部沒有連通，導致吸收的塵粒無法排出，導致裝置內的塵粒越積越多，不能定期對塵粒吸附器吸附的塵粒進行清潔，影響后期的清潔工作，在擦拭過程中，不能與基臺表面充分接觸，使得清潔工作進行的不夠全面。

所以，如何設計一種硅棒生產用表層清潔裝置，成為我們當前要解決的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硅棒生產用表層清潔裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種硅棒生產用表層清潔裝置，包括裝置主體和頂蓋，所述裝置主體的頂部嵌套有塵粒吸附器，所述裝置主體底部固定有外殼，所述外殼的底部緊密連接有細毛絲，所述外殼的內部安裝有擦拭器，所述擦拭器的兩側安裝有風干器，所述風干器的右側固定有轉軸，所述轉軸的左側安裝有傳導軸和第一皮帶，所述轉軸通過第一皮帶與傳導軸活動連接，所述擦拭器的底部活動連接有彈性板，所述外殼的內部固定連接有滑道，所述滑道的側面固定連接有運動軌，所述運動軌的側面嵌套有從動輪，所述從動輪的右側安裝有活動輪和第二皮帶，且活動輪與從動輪通過第二皮帶活動連接，所述頂蓋的上方固定連接有加固柱。

進一步的，所述塵粒吸附器設置有兩個，且塵粒吸附器均勻的分布在裝置本體的頂部，所述塵粒吸附器與外部相連通。

進一步的，所述頂蓋與裝置本體位于同一水平線，且頂蓋與裝置本體邊界的形狀相適配。

進一步的，所述運動軌的頂部設有穩流器，且所述穩流器與運動軌緊密貼合。

進一步的，所述細毛絲圍繞外殼的底部，呈一個完整的“矩形”狀。

進一步的，所述彈性板上覆蓋著無塵布，且彈性板為凸出結構，并呈“弧形”狀。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：該種硅棒生產用表層清潔裝置，采用了其他清潔裝置的優點，通過塵粒吸附器和彈性板的共同作用下，解決原有清潔裝置設計的不夠合理的問題，設置的塵粒吸附器與外部相連通，可將吸附的塵粒傳送至清潔裝置外部，由于清潔裝置的體積較小，可以將塵粒吸附器吸附的塵粒傳送至清潔裝置的外部，這樣就不用定期對塵粒吸附器吸附的塵粒進行清潔，將吸收的塵粒排出，且可以進一步的提升清潔效果，設置的彈性板上覆蓋無塵布，且彈性板呈“弧形”狀，使得清潔裝置的底部凸出，這樣無塵布覆蓋在彈性板上，無塵布在擦拭過程中，可以與基臺表面充分接觸，提高擦拭效果，當然，所述彈性板還可以為圓片狀、方塊狀等，只要其能形成凸出的平整平面，便于無塵布對基臺進行擦拭。

附圖說明

圖1是本發明的整體結構示意圖；

圖2是本發明的擦拭器局部結構示意圖；

圖3是本發明的滑道局部結構示意圖。

圖中：1、裝置主體，101、塵粒吸附器，2、外殼，201、細毛絲，3、頂蓋，301、加固柱，4、擦拭器，401、風干器，402、傳導軸，403、彈性板，404、第一皮帶，405、轉軸，5、滑道，501、穩流器，502、從動輪，503、活動輪，504、第二皮帶，505、運動軌。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。