[發明專利]探針裝置及其矩形探針

有效

• 申請號: 201710905013.7
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN109581006B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 蘇偉志;謝智鵬
• 申請（專利權）人: 中華精測科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

本發明公開一種探針裝置的矩形探針，包含中間段、分別自中間段的相反兩端延伸所形成的第一連接段與第二連接段、自第一連接段朝遠離中間段方向延伸所形成的第一接觸段以及自第二連接段朝遠離中間段方向延伸所形成的第二接觸段。第一連接段形成有第一凹槽，并且第一凹槽的深度不大于矩形探針的最大厚度的50％。此外，本發明還提供一種探針裝置。本發明的探針裝置及其矩形探針，能通過第一凹槽的深度不大于矩形探針的最大厚度的50％，借以避免影響第一連接段的電流傳導特性。

技術領域

本發明涉及一種探針裝置，尤其涉及一種適用于探針卡的探針裝置及其矩形探針。

背景技術

半導體芯片進行測試時，測試機通過一探針卡而與待測物電性連接，并借由信號傳輸及信號分析，以獲得待測物的測試結果。現有的探針卡通常由一電路板及一探針裝置(也就是探針頭)組成，或者還包含有設于電路板及探針裝置間的一空間轉換器(也就是載板)，探針裝置設有對應待測物的電性接點而排列的多個探針，以借由上述多個探針同時點觸相對應的電性接點。

現有探針裝置的探針包含有以微機電系統(Microelectromechanical Systems，MEMS)技術所制造的矩形探針，其外型可依據設計者需求而成形。更詳細地說，現有的矩形探針為了要與探針裝置中的導板固定，因此會在矩形探針上設計凸出的特征以做為卡榫使用。然而，此種矩形探針在穿過導板的過程中，凸出的特征(卡榫)可能會與導板產生較大的摩擦，從而刮傷導板，并且降低探針裝置整體的使用效率。

于是，本發明人認為上述缺陷可改善，乃特潛心研究并配合科學原理的運用，終于提出一種設計合理且能有效改善上述缺陷的本發明。

發明內容

本發明實施例在于提供一種探針裝置及其矩形探針，能有效地改善現有探針裝置所可能產生的缺陷。

本發明實施例公開一種探針裝置，包括一第一導板以及多個矩形探針，第一導板形成有多個第一孔壁，每個所述第一孔壁包圍形成有一第一貫孔；多個矩形探針分別穿設于所述第一導板的多個所述第一貫孔，并且每個所述矩形探針包含一中間段、一第一連接段及一第一接觸段；第一連接段自所述中間段的一端延伸所形成且穿設于相對應的所述第一貫孔；第一接觸段自所述第一連接段延伸所形成且穿出相對應的所述第一貫孔；其中，每個所述矩形探針的所述第一連接段形成有一第一凹槽，每個所述第一凹槽的寬度大于所述第一導板的厚度，每個所述第一凹槽容置于相對應的所述第一貫孔，并且所述第一凹槽的槽底面向相對應的所述第一孔壁的至少局部。

優選地，于每個所述矩形探針中，所述第一凹槽的深度不大于所述矩形探針的最大厚度的50％。

優選地，于每個所述矩形探針及其所穿設的所述第一貫孔中，所述矩形探針在所述第一凹槽的位置旁形成有一第一導引斜面，并且所述第一凹槽的位置能通過所述第一導引斜面的導引而對應于所述第一孔壁。

優選地，所述探針裝置進一步包括有一第二導板，所述第二導板與所述第一導板呈間隔設置，所述第二導板形成有多個第二孔壁，每個所述第二孔壁包圍形成有一第二貫孔，并且多個所述矩形探針分別穿設于所述第二導板的多個所述第二貫孔；其中，每個所述矩形探針包含有一第二連接段及一第二接觸段，第二連接段自所述中間段的另一端延伸所形成且穿設于相對應的所述第二貫孔；第二接觸段自所述第二連接段延伸所形成且穿出相對應的所述第二貫孔；其中，每個所述矩形探針的所述第二連接段形成有一第二凹槽，每個所述第二凹槽的寬度大于所述第二導板的厚度，每個所述第二凹槽容置于相對應的所述第二貫孔，并且所述第二凹槽的槽底面向相對應的所述第二孔壁的至少局部。

優選地，于每個所述矩形探針中，所述第二凹槽的深度不大于所述矩形探針的最大厚度的50％；其中，于每個所述矩形探針及其所穿設的所述第二貫孔中，所述矩形探針在所述第二凹槽的位置旁形成有一第二導引斜面，并且所述第二凹槽的位置能通過所述第二導引斜面的導引而對應于所述第二孔壁。