[發(fā)明專利]探針裝置及其矩形探針

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710905013.7
• 申請(qǐng)日: 2017-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN109581006B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇偉志;謝智鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中華精測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 李昕巍;章侃銥

本發(fā)明公開一種探針裝置的矩形探針，包含中間段、分別自中間段的相反兩端延伸所形成的第一連接段與第二連接段、自第一連接段朝遠(yuǎn)離中間段方向延伸所形成的第一接觸段以及自第二連接段朝遠(yuǎn)離中間段方向延伸所形成的第二接觸段。第一連接段形成有第一凹槽，并且第一凹槽的深度不大于矩形探針的最大厚度的50％。此外，本發(fā)明還提供一種探針裝置。本發(fā)明的探針裝置及其矩形探針，能通過第一凹槽的深度不大于矩形探針的最大厚度的50％，借以避免影響第一連接段的電流傳導(dǎo)特性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種探針裝置，尤其涉及一種適用于探針卡的探針裝置及其矩形探針。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片進(jìn)行測(cè)試時(shí)，測(cè)試機(jī)通過一探針卡而與待測(cè)物電性連接，并借由信號(hào)傳輸及信號(hào)分析，以獲得待測(cè)物的測(cè)試結(jié)果。現(xiàn)有的探針卡通常由一電路板及一探針裝置(也就是探針頭)組成，或者還包含有設(shè)于電路板及探針裝置間的一空間轉(zhuǎn)換器(也就是載板)，探針裝置設(shè)有對(duì)應(yīng)待測(cè)物的電性接點(diǎn)而排列的多個(gè)探針，以借由上述多個(gè)探針同時(shí)點(diǎn)觸相對(duì)應(yīng)的電性接點(diǎn)。

現(xiàn)有探針裝置的探針包含有以微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems，MEMS)技術(shù)所制造的矩形探針，其外型可依據(jù)設(shè)計(jì)者需求而成形。更詳細(xì)地說，現(xiàn)有的矩形探針為了要與探針裝置中的導(dǎo)板固定，因此會(huì)在矩形探針上設(shè)計(jì)凸出的特征以做為卡榫使用。然而，此種矩形探針在穿過導(dǎo)板的過程中，凸出的特征(卡榫)可能會(huì)與導(dǎo)板產(chǎn)生較大的摩擦，從而刮傷導(dǎo)板，并且降低探針裝置整體的使用效率。

于是，本發(fā)明人認(rèn)為上述缺陷可改善，乃特潛心研究并配合科學(xué)原理的運(yùn)用，終于提出一種設(shè)計(jì)合理且能有效改善上述缺陷的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例在于提供一種探針裝置及其矩形探針，能有效地改善現(xiàn)有探針裝置所可能產(chǎn)生的缺陷。

本發(fā)明實(shí)施例公開一種探針裝置，包括一第一導(dǎo)板以及多個(gè)矩形探針，第一導(dǎo)板形成有多個(gè)第一孔壁，每個(gè)所述第一孔壁包圍形成有一第一貫孔；多個(gè)矩形探針分別穿設(shè)于所述第一導(dǎo)板的多個(gè)所述第一貫孔，并且每個(gè)所述矩形探針包含一中間段、一第一連接段及一第一接觸段；第一連接段自所述中間段的一端延伸所形成且穿設(shè)于相對(duì)應(yīng)的所述第一貫孔；第一接觸段自所述第一連接段延伸所形成且穿出相對(duì)應(yīng)的所述第一貫孔；其中，每個(gè)所述矩形探針的所述第一連接段形成有一第一凹槽，每個(gè)所述第一凹槽的寬度大于所述第一導(dǎo)板的厚度，每個(gè)所述第一凹槽容置于相對(duì)應(yīng)的所述第一貫孔，并且所述第一凹槽的槽底面向相對(duì)應(yīng)的所述第一孔壁的至少局部。

優(yōu)選地，于每個(gè)所述矩形探針中，所述第一凹槽的深度不大于所述矩形探針的最大厚度的50％。

優(yōu)選地，于每個(gè)所述矩形探針及其所穿設(shè)的所述第一貫孔中，所述矩形探針在所述第一凹槽的位置旁形成有一第一導(dǎo)引斜面，并且所述第一凹槽的位置能通過所述第一導(dǎo)引斜面的導(dǎo)引而對(duì)應(yīng)于所述第一孔壁。

優(yōu)選地，所述探針裝置進(jìn)一步包括有一第二導(dǎo)板，所述第二導(dǎo)板與所述第一導(dǎo)板呈間隔設(shè)置，所述第二導(dǎo)板形成有多個(gè)第二孔壁，每個(gè)所述第二孔壁包圍形成有一第二貫孔，并且多個(gè)所述矩形探針分別穿設(shè)于所述第二導(dǎo)板的多個(gè)所述第二貫孔；其中，每個(gè)所述矩形探針包含有一第二連接段及一第二接觸段，第二連接段自所述中間段的另一端延伸所形成且穿設(shè)于相對(duì)應(yīng)的所述第二貫孔；第二接觸段自所述第二連接段延伸所形成且穿出相對(duì)應(yīng)的所述第二貫孔；其中，每個(gè)所述矩形探針的所述第二連接段形成有一第二凹槽，每個(gè)所述第二凹槽的寬度大于所述第二導(dǎo)板的厚度，每個(gè)所述第二凹槽容置于相對(duì)應(yīng)的所述第二貫孔，并且所述第二凹槽的槽底面向相對(duì)應(yīng)的所述第二孔壁的至少局部。

優(yōu)選地，于每個(gè)所述矩形探針中，所述第二凹槽的深度不大于所述矩形探針的最大厚度的50％；其中，于每個(gè)所述矩形探針及其所穿設(shè)的所述第二貫孔中，所述矩形探針在所述第二凹槽的位置旁形成有一第二導(dǎo)引斜面，并且所述第二凹槽的位置能通過所述第二導(dǎo)引斜面的導(dǎo)引而對(duì)應(yīng)于所述第二孔壁。