[發(fā)明專利]一種二維快速偏擺反射鏡及其工作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710903695.8
• 申請日: 2017-09-29
• 公開（公告）號: CN107479187B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王耿;王海濤;王瑩;魏紹亮;王帥旗;周克辛
• 申請（專利權(quán)）人: 河南理工大學(xué)
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B7/198
• 代理公司: 成都方圓聿聯(lián)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51241
• 代理人: 曹少華

1.一種二維快速偏擺反射鏡，其特征在于包括：鏡面支撐結(jié)構(gòu)(1)、第一柔性偏擺機構(gòu)(2)、第二柔性偏擺機構(gòu)(3)、傳感驅(qū)動組件(4)、底座(5)和驅(qū)動控制系統(tǒng)(6)；所述第一柔性偏擺機構(gòu)(2)與第二柔性偏擺機構(gòu)(3)組合后用于安裝鏡面支撐結(jié)構(gòu)，傳感驅(qū)動組件(4)與驅(qū)動控制系統(tǒng)(6)連接用于控制第一柔性偏擺機構(gòu)(2)與第二柔性偏擺機構(gòu)(3)執(zhí)行偏擺動作，底座(5)用于固定傳感驅(qū)動組件(4)和第二柔性偏擺機構(gòu)(3)；

所述第一柔性偏擺機構(gòu)(2)包括：X方向支撐橫板(2-1)、X方向偏擺軸第一撐板(2-21)、X方向偏擺軸第二撐板(2-22)、X方向第一柔性板簧(2-31)、X方向第二柔性板簧(2-32)、X方向第一導(dǎo)向板(2-41)、X方向第二導(dǎo)向板(2-42)、X方向第一輸入接頭(2-51)和X方向第二輸入接頭(2-52)；

所述X方向支撐橫板(2-1)中部下表面設(shè)有凹槽，X方向第一導(dǎo)向板(2-41)和X方向第二導(dǎo)向板(2-42)形狀相同都為圓弧形，X方向支撐橫板(2-1)的兩頭分別與X方向第一導(dǎo)向板(2-41)和X方向第二導(dǎo)向板(2-42)的一頭連接，形成類似半圓形形狀；

X方向第一柔性板簧(2-31)和X方向第二柔性板簧(2-32)形狀相同，都為長條形；X方向第一柔性板簧(2-31)的一端連接X方向第一導(dǎo)向板(2-41)的內(nèi)弧中心，另一端與X方向偏擺軸第一撐板(2-21)連接，X方向第二柔性板簧(2-32)的一端與X方向第二導(dǎo)向板(2-42)的內(nèi)弧中心連接，另一端與X方向偏擺軸第二撐板(2-22)相連接；上述兩根撐板向下垂直，且兩根撐板和兩根板簧分別連接后形狀彼此對稱；

所述X方向第一輸入接頭(2-51)和X方向第二輸入接頭(2-52)，分別與X方向第一導(dǎo)向板(2-41)和X方向第二導(dǎo)向板(2-42)的末端連接，彼此對稱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維快速偏擺反射鏡，其特征在于：所述第二柔性偏擺機構(gòu)(3)包括：Y方向支撐橫板(3-1)、Y方向偏擺軸支撐板(3-2)、Y方向第一柔性板簧(3-31)、Y方向第二柔性板簧(3-32)、Y方向第一導(dǎo)向板(3-41)、Y方向第二導(dǎo)向板(3-42)、Y方向第一輸入接頭(3-51)和Y方向第二輸入接頭(3-52)；

所述Y方向支撐橫板(3-1)中部上表面設(shè)有凹槽，Y方向第一導(dǎo)向板(3-41)和Y方向第二導(dǎo)向板(3-42)形狀相同都為圓弧形，Y方向支撐橫板(3-1)的兩頭分別與Y方向第一導(dǎo)向板(3-41)和Y方向第二導(dǎo)向板(3-42)的一頭連接，形成類似半圓形形狀；

Y方向第一柔性板簧(3-31)和Y方向第二柔性板簧(3-32)形狀相同都為長條形，一端分別與Y方向第一導(dǎo)向板(3-41)和Y方向第二導(dǎo)向板(3-42)的內(nèi)弧中心連接，另一端分別與Y方向偏擺軸支撐板(3-2)的頂部左右兩端連接固定；

所述第一柔性偏擺機構(gòu)(2)與第二柔性偏擺機構(gòu)(3)組合后俯視平面為十字形，所述X方向支撐橫板(2-1)的凹槽和所述Y方向支撐橫板(3-1)的凹槽形狀契合，通過高強度膠水粘貼在一起，所述第一柔性偏擺機構(gòu)(2)的X方向偏擺軸第一撐板(2-21)和X方向偏擺軸第二撐板(2-22)之間的空隙用于插入并膠接第二柔性偏擺機構(gòu)(3)的Y方向偏擺軸支撐板(3-2)。