[發明專利]減壓干燥裝置有效
| 申請號： | 201710899704.0 | 申請日： | 2017-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN107878044B | 公開（公告）日： | 2020-04-07 |
| 發明（設計）人： | 島村名典;林輝幸 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | B41J11/00 | 分類號： | B41J11/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 減壓 干燥 裝置 | ||
1.一種減壓干燥裝置，其使收納在腔室內的基板上的溶液在減壓狀態下干燥，所述減壓干燥裝置的特征在于：
包括由網狀板構成的、暫時地捕獲從所述基板汽化的所述溶液中的溶劑的溶劑捕獲部，
所述溶劑捕獲部以與所述基板相對的方式設置在所述腔室內，并且，
在所述腔室內的壓力被減壓至所述基板的溫度下的所述溶劑的蒸氣壓以下的時刻，所述溶劑捕獲部的溫度，被因減壓而發生了絕熱膨脹的所述腔室內的氣體冷卻至該時刻的所述腔室的壓力下的所述溶劑的露點以下，
在所述基板上的溶液的溶劑完成蒸發前的期間，該溶劑捕獲部的溫度被維持在各時刻的所述腔室內的壓力下的所述溶劑的露點以下，
在所述基板上的溶液的溶劑完成蒸發后的5分鐘以內，該溶劑捕獲部的溫度因來自所述腔室的輻射熱而達到該時刻的所述腔室的壓力下的所述溶劑的露點以上。
2.一種減壓干燥裝置，其使收納在腔室內的基板上的溶液在減壓狀態下干燥，所述減壓干燥裝置的特征在于：
包括由網狀板構成的、暫時地捕獲從所述基板汽化的所述溶液中的溶劑的溶劑捕獲部，
所述溶劑捕獲部以與所述基板相對的方式設置在所述腔室內，
所述網狀板的開口率為60％以上80％以下，每1m2的熱容為850J/K以下。
3.如權利要求2所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
所述網狀板的厚度為0.05mm以上0.2mm以下。
4.如權利要求2或3所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
所述網狀板是通過對金屬板進行冷切拉伸而制造的拉制金屬網。
5.如權利要求2或3所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
所述網狀板是不銹鋼制的。
6.如權利要求2或3所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
從所述基板至所述溶劑捕獲部為止的距離為從所述基板至所述腔室的頂板的距離的40％以上60％以下。
7.如權利要求2或3所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
在所述腔室內設置有紅外線輻射體。
8.一種減壓干燥裝置，其使收納在腔室內的基板上的溶液在減壓狀態下干燥，所述減壓干燥裝置的特征在于：
包括由網狀板構成的、暫時地捕獲從所述基板汽化的所述溶液中的溶劑的溶劑捕獲部，
所述溶劑捕獲部以與所述基板相對的方式設置在所述腔室內，
從所述基板至所述溶劑捕獲部為止的距離為從所述基板至所述溶劑捕獲部的上部的結構物為止的距離的40％以上60％以下。
9.如權利要求8所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
所述網狀板的厚度為0.05mm以上0.2mm以下。
10.如權利要求8或9所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
所述網狀板是通過對金屬板進行冷切拉伸而制造的拉制金屬網。
11.如權利要求8或9所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
所述網狀板是不銹鋼制的。
12.如權利要求8或9所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
在所述腔室內設置有紅外線輻射體。
13.如權利要求1～3、8、9中任一項所述的減壓干燥裝置，其特征在于：
連接有使腔室成為減壓狀態的排氣裝置，
并且包括設置在從所述溶劑捕獲部至所述排氣裝置的空間中的另外的溶劑捕獲部，
所述另外的溶劑捕獲部與所述溶劑捕獲部相比為低溫，暫時地捕獲被所述溶劑捕獲部暫時捕獲后又汽化的溶劑。
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