[發明專利]加熱裝置

有效

• 申請號: 201710898475.0
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN107889288B
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 倉野淳
• 申請（專利權）人: 日本特殊陶業株式會社
• 主分類號: H05B3/10
• 分類號: H05B3/10;H05B3/18;H05B3/03;H05B3/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種加熱裝置，其具有：保持體，其呈具有與第1方向大致正交的第1表面和第2表面的板狀，并且在內部具有多個電阻發熱體，該多個電阻發熱體與彼此不同的一對電極端子相連接；以及柱狀支承體，其呈在所述第1方向上延伸的柱狀，且與所述保持體的所述第2表面接合在一起，該加熱裝置用于對保持在所述保持體的所述第1表面上的對象物進行加熱，

該加熱裝置的特征在于，

所述多個電阻發熱體包含：

第1電阻發熱體，其跨越第1區域和第2區域地配置，且所述第1區域中的每單位面積的發熱量與所述第2區域中的每單位面積的發熱量大致相同，其中，所述第1區域包含從所述第1方向觀察時與所述柱狀支承體重合的區域，所述第2區域從所述第1方向觀察時位于所述第1區域的外周側的整周區域并且包含不與所述柱狀支承體重合的區域；以及

第2電阻發熱體，其在所述第1方向上配置在與所述第1電阻發熱體不同的位置，且跨越所述第1區域和所述第2區域的整周地配置，并且所述第1區域中的每單位面積的發熱量比所述第2區域中的每單位面積的發熱量大，

所述多個電阻發熱體還包含第3電阻發熱體，該第3電阻發熱體在所述第1方向上配置在與所述第1電阻發熱體大致相同的位置，且從所述第1方向觀察時僅配置在位于所述第2區域的外周側的第3區域，

所述彼此不同的一對電極端子是指，所述電極端子的組合不完全相同，所述多個電阻發熱體與彼此不同的一對電極端子相連接是指，與一個電阻發熱體相連接的一對電極端子中的一個電極端子不與另一電阻發熱體相連接，但包含與該一個電阻發熱體相連接的一對電極端子中的另一電極端子與該另一電阻發熱體相連接的方式。

2.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，

所述第2電阻發熱體在所述第1方向上配置在比所述第1電阻發熱體靠近所述第1表面的位置。

3.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，

所述第2電阻發熱體在所述第1方向上配置在比所述第1電阻發熱體遠離所述第1表面的位置。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的加熱裝置，其特征在于，

所述第2電阻發熱體從所述第1方向觀察時沿著規定的軸線延伸，且呈所述第1區域中的寬度比所述第2區域中的寬度小的形狀。

5.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，

所述第2電阻發熱體跨越所述第1區域、所述第2區域和所述第3區域地配置，且所述第1區域中的每單位面積的發熱量比所述第2區域及所述第3區域中的每單位面積的發熱量大。