[發(fā)明專利]用于光學(xué)測量系統(tǒng)的測量裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710897036.8 | 申請日: | 2017-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN107883882B | 公開(公告)日: | 2020-04-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | T.赫爾德;D.考夫曼 | 申請(專利權(quán))人: | 卡爾蔡司工業(yè)測量技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/03 | 分類號: | G01B11/03;G01B11/00;G01B5/00;G01C15/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
| 地址: | 德國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 光學(xué) 測量 系統(tǒng) 裝置 | ||
1.一種用于光學(xué)測量系統(tǒng)(100)的測量裝置(10),具有:
-基本上桿形的剛性本體(28),該剛性本體具有探針本體(34)或工具,并且在該剛性本體上安排了第一光學(xué)標(biāo)記(20),其中,該第一光學(xué)標(biāo)記(20)被安排在該剛性本體(28)的第一端的區(qū)域中,并且該探針本體(34)或該工具被安排在該剛性本體(28)的與第一端相反放置的第二端的區(qū)域中;
-固持部分(30),該固持部分用于用手緊固該測量裝置(10)或用于將該測量裝置(10)夾緊在機(jī)器中,其中,至少在該固持部分(30)上安排了第二光學(xué)標(biāo)記(22);以及
-彈簧元件(32),該彈簧元件將該剛性本體(28)連接至該固持部分(30),其中,該彈簧元件(32)在該第一端與該第二端之間接合在該剛性本體(28)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置,其中,該第一光學(xué)標(biāo)記(20)具有分布在該剛性本體(28)上的至少三個光學(xué)標(biāo)記元件(20a-20c)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量裝置,其中,這些標(biāo)記元件(20a-20c)是安排在共同平面中的被動光學(xué)標(biāo)記元件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置,其中,該剛性本體(28)具有探針本體(34),該探針本體被設(shè)計成探針球體或探針尖端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置,其中,該彈簧元件(32)具有平行四邊形彈簧或萬向彈簧元件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置,其中,該測量裝置(10)具有阻尼元件(36),該阻尼元件將該剛性本體(28)連接至該固持部分(30)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測量裝置,其中,該剛性本體(28)僅僅經(jīng)由該彈簧元件(32)和該阻尼元件(36)連接至該固持部分(30)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測量裝置,其中,該阻尼元件(36)被設(shè)計成磁性阻尼器(36c)、流體阻尼器(36a)、或彈性體阻尼器(36b)。
9.一種測量系統(tǒng)(100),具有:
-根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的測量裝置(10);
-相機(jī)(12),該相機(jī)用于捕捉該測量裝置(10)的圖像數(shù)據(jù);以及
-評估與控制單元(14),該評估與控制單元被設(shè)計成用于評估該相機(jī)(12)捕捉到的圖像數(shù)據(jù),并且根據(jù)這些數(shù)據(jù)確定該測量裝置(10)的位置數(shù)據(jù)。
10.一種測量系統(tǒng),包含:
-測量裝置(10),該測量裝置具有剛性本體(28),該剛性本體具有探針本體(34)或工具,并且在該剛性本體上安排了第一光學(xué)標(biāo)記(20),其中該測量裝置(10)還具有固持部分(30),該固持部分用于用手緊固該測量裝置(10)或用于將該測量裝置(10)夾緊在機(jī)器中,其中至少在該固持部分(30)上安排了第二光學(xué)標(biāo)記(22),以及其中該測量裝置(10)還具有彈簧元件(32),該彈簧元件將該剛性本體(28)連接至該固持部分(30);
-相機(jī)(12),該相機(jī)用于捕捉該測量裝置(10)的圖像數(shù)據(jù);以及
-評估與控制單元(14),該評估與控制單元被設(shè)計成用于評估該相機(jī)(12)捕捉到的圖像數(shù)據(jù),并且根據(jù)這些數(shù)據(jù)確定該測量裝置(10)的位置數(shù)據(jù)
其中,該評估與控制單元(14)被設(shè)計成使用該相機(jī)(12)捕捉到的圖像數(shù)據(jù)來基于該第一光學(xué)標(biāo)記(20)確定該剛性本體(28)的對該剛性本體(28)的位置進(jìn)行描述的位置數(shù)據(jù),并且基于該第一光學(xué)標(biāo)記和第二光學(xué)標(biāo)記(20,22)確定該固持部分(30)的對該固持部分(30)相對于該剛性本體(28)的相對位置進(jìn)行描述的位置數(shù)據(jù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測量系統(tǒng),其中,該評估與控制單元(14)被設(shè)計成使用該固持部分(30)的該位置數(shù)據(jù)和從該彈簧元件(32)已知的剛度來計算施加到該測量裝置(10)的該探針本體(34)或該工具上的力。
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