[發明專利]一種多孔鈦酸銅鈣薄膜的制備方法

有效

• 申請號: 201710896396.6
• 申請日: 2017-09-28
• 公開（公告）號: CN107540402B
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 李亞巍;陳棟;褚君浩
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 主分類號: C04B38/00
• 分類號: C04B38/00;C04B35/462;C04B35/622;C04B41/50;C03C17/22
• 代理公司: 上海藍迪專利商標事務所(普通合伙) 31215
• 代理人: 徐筱梅;張翔

1.一種多孔鈦酸銅鈣薄膜的制備方法，其特征在于，該方法包括以下具體步驟：

a、通過物理或化學方法在襯底上覆蓋一層鎳酸鑭LaNiO₃緩沖層，該緩沖層厚度10～30nm；

b、鈦酸銅鈣前驅體溶液的配置

取硝酸銅Cu(NO₃)₂、硝酸鈣Ca(NO₃)₂固體按摩爾比為3︰1的比例溶入乙二醇甲醚中，在30～80℃ 水浴中加熱攪拌1～6小時，使之形成均質溶液；再按照Ca︰Ti原子摩爾比1︰4的比例量取鈦酸丁酯和相同摩爾數的乙酰丙酮加入溶液，在30～80℃水浴中攪拌加熱1～8小時，使之形成均質溶液，最終配成濃度0.01～0.1mol/L的鈦酸銅鈣前驅體溶液；

c、制備多孔鈦酸銅鈣薄膜

采用旋轉涂膜或提拉涂膜方式，在帶有鎳酸鑭緩沖層的襯底上涂覆鈦酸銅鈣前驅體溶液，獲得鈦酸銅鈣濕膜；在快速退火爐中進行三段式熱處理：第一段，溫度140～200℃ 時長180～360秒；第二段，溫度360～420℃ 時長180～360秒；第三段，溫度650～850℃ 時長180～600秒，獲得一層所述多孔鈦酸銅鈣薄膜，重復所述涂覆-熱處理過程，獲得多層鈦酸銅鈣多孔薄膜；其孔徑范圍在40～200nm之間。