[發(fā)明專利]一種封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710892256.1 | 申請日: | 2017-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN109560091A | 公開(公告)日: | 2019-04-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 何志宏;林正忠;林章申 | 申請(專利權(quán))人: | 中芯長電半導(dǎo)體(江陰)有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/146 | 分類號: | H01L27/146 |
| 代理公司: | 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明偉 |
| 地址: | 214437 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 重新布線層 封裝結(jié)構(gòu) 封裝 封裝材料 金屬焊點(diǎn) 金屬凸塊 金屬布線層 邏輯芯片 器件結(jié)構(gòu) 外部連線 組裝工藝 成品率 第二面 電連接 介質(zhì)層 體積小 與邏輯 裝設(shè) 背面 裸露 芯片 | ||
本發(fā)明提供一種封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法,所述封裝結(jié)構(gòu)包括:重新布線層,所述重新布線層包括第一面以及與所述第一面相對的第二面,所述重新布線層包括介質(zhì)層以及金屬布線層;金屬凸塊,所述金屬凸塊形成于所述重新布線層第一面上;CMOS圖像傳感器芯片與邏輯芯片,所述CMOS圖像傳感器芯片及所述邏輯芯片正面具有金屬焊點(diǎn),所述金屬焊點(diǎn)裝設(shè)于所述重新布線層第二面上與所述重新布線層實(shí)現(xiàn)相互之間的電連接;封裝材料,形成于所述重新布線層的第二面上,所述CMOS圖像傳感器芯片背面裸露于所述封裝材料;本發(fā)明封裝結(jié)構(gòu)具有封裝體積小,組裝工藝簡單,封裝費(fèi)用低,且不需要外部連線從而提高結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,同時(shí)提高最終器件結(jié)構(gòu)的成品率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域,特別是涉及一種集成CMOS圖像傳感器與邏輯芯片的晶圓級封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法。
背景技術(shù)
CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)中文的全稱為互補(bǔ)氧化金屬半導(dǎo)體,是用于記錄光線變化的元件,是最常用的感光器件之一,CMOS被稱之為數(shù)碼相機(jī)的大腦。
數(shù)碼相機(jī)的本質(zhì),從專業(yè)的角度來看,就是把光能轉(zhuǎn)化為信息儲(chǔ)存起來。大致分為以下三個(gè)流程:成像→光電轉(zhuǎn)換→記錄,即鏡頭拍攝主體反射的光線通過鏡頭進(jìn)入相機(jī)后聚焦,形成清晰圖像,圖像落在CMOS光電器材上,通過光電轉(zhuǎn)換形成電信號,然后把信號記錄在磁帶或儲(chǔ)存卡上。而光電轉(zhuǎn)換的核心部件是傳感器,傳感器的作用就是把傳到它身上的不同強(qiáng)度的光線進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換,轉(zhuǎn)換成電壓信息最終生成我們想要的數(shù)字圖片。
CMOS圖像傳感器(CMOS image sensor)分正面照明類型和背面照明類型兩種。背面照明類型最大的優(yōu)化之處在于將元件內(nèi)部的結(jié)構(gòu)改變了,其將感光層的元件調(diào)轉(zhuǎn)方向,讓光能從背面直射進(jìn)去,避免了傳統(tǒng)CMOS圖像傳感器結(jié)構(gòu)中,光線會(huì)受到微透鏡和光電二極管之間的電路和晶體管的影響,從而顯著提高光的效能,大大改善低光照條件下的拍攝效果。
因此,CMOS圖像傳感器芯片,通常需要搭配邏輯芯片集成使用,現(xiàn)有的制作方法是將單獨(dú)封裝好的CMOS圖像傳感器芯片通過外部連線與邏輯芯片進(jìn)行電性連接。這種封裝方法使得器件的體積較大,組裝工藝過程較為復(fù)雜,單獨(dú)封裝費(fèi)用高,且需要外部連線使得結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性大大降低,嚴(yán)重影響最終器件結(jié)構(gòu)的成品率。
基于以上所述,提供一種可以有效集成CMOS圖像傳感器芯片及邏輯芯片,并有效降低封裝結(jié)構(gòu)體積、簡化封裝工藝、降低成本以及提高器件穩(wěn)定性,且具有高成品率的封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法實(shí)屬必要。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本發(fā)明的目的在于提供一種封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法,用于解決現(xiàn)有技術(shù)中CMOS圖像傳感器芯片及邏輯芯片的封裝體積較大,器件穩(wěn)定性低以及產(chǎn)品良率較低的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本發(fā)明提供一種封裝結(jié)構(gòu),所述封裝結(jié)構(gòu)包括:
重新布線層,所述重新布線層包括第一面以及與所述第一面相對的第二面,所述重新布線層包括介質(zhì)層以及金屬布線層;
金屬凸塊,所述金屬凸塊形成于所述重新布線層第一面上;
CMOS圖像傳感器芯片與邏輯芯片,所述CMOS圖像傳感器芯片及所述邏輯芯片正面具有金屬焊點(diǎn),所述金屬焊點(diǎn)裝設(shè)于所述重新布線層第二面上與所述重新布線層實(shí)現(xiàn)相互之間的電連接;
封裝材料,形成于所述重新布線層的第二面上,所述CMOS圖像傳感器芯片背面裸露于所述封裝材料。
優(yōu)選地,所述重新布線層包括N層金屬布線層,N≥1。
優(yōu)選地,所述金屬凸塊包括焊料凸點(diǎn);或者所述金屬凸塊包括金屬柱以及位于金屬柱上方的焊料凸點(diǎn)。
優(yōu)選地,所述CMOS圖像傳感器芯片包括前照式、背照式CMOS圖像傳感器芯片中的一種或兩種以上組合。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的





