[發(fā)明專利]一種薄膜沖壓裝置以及芯片噴碼工藝在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710889826.1 | 申請日: | 2017-09-27 |
| 公開(公告)號: | CN107634019A | 公開(公告)日: | 2018-01-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳東 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇凱爾生物識別科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 215143 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 薄膜 沖壓 裝置 以及 芯片 工藝 | ||
1.一種薄膜沖壓裝置,其特征在于,包括沖壓平臺(2)、固定片(4)、沖壓上模體(6)、沖壓下模座(5)和固定裝置(7),其中,
所述沖壓平臺(2)上表面設(shè)置有工作區(qū),所述沖壓下模座(5)位于所述工作區(qū)內(nèi);
所述固定片(4)用于與薄膜貼合,所述固定片(4)設(shè)有至少一個(gè)鏤空部(8),所述鏤空部(8)上、下貫通,所述薄膜部分覆蓋在所述鏤空部(8)的上方和/或下方;
所述固定裝置(7)設(shè)置在所述沖壓平臺(2)上,其用于所述固定片(4)在所述工作區(qū)上的活動裝夾;
所述沖壓上模體(6)位于所述沖壓下模座(5)的正上方,并能相對所述沖壓下模體做升降運(yùn)動,所述沖壓上模體(6)在升降時(shí)與所述沖壓下模座(5)配合,從而在覆蓋于所述鏤空部(8)上所述薄膜上沖出至少一個(gè)通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜沖壓裝置,其特征在于,所述固定裝置(7)包括兩塊定心設(shè)置且能夠做水平相對運(yùn)動的對頂塊(10),所述固定片(4)安裝時(shí),夾緊在兩塊所述對頂塊(10)之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種薄膜沖壓裝置,其特征在于,所述沖壓上模體(6)包括位于底部的成型模頭,以及用于驅(qū)動所述成型模頭做升降運(yùn)動的升降氣缸。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種薄膜沖壓裝置,其特征在于,
所述沖壓上模體(6)設(shè)置有至少兩個(gè),其之間的水平距離取決于所述薄膜上相鄰的兩個(gè)待加工的所述通孔的間距;
所述沖壓下模座設(shè)置有至少兩個(gè),且與所述沖壓上模體(6)在豎直方向上一一對應(yīng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種薄膜沖壓裝置,其特征在于,所述鏤空部(8)設(shè)置有兩個(gè)。
6.一種芯片噴碼工藝,用于芯片表面的噴涂,其特征在于,包括以下步驟:
S1.將薄膜安裝在設(shè)有鏤空部的固定片上,并與所述固定片的上表面貼合,所述鏤空部上下貫通,在所述薄膜安裝到位后,至少有部分覆蓋于所述鏤空部的上方;
S2.在位于所述鏤空部上的所述薄膜上加工出至少一個(gè)通孔;
S3.將所述固定片上的所述薄膜貼合在所述芯片的表面,所述芯片上有部分通過所述通孔部分露出;
S4.噴涂設(shè)備穿過所述通孔對所述芯片進(jìn)行噴涂。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的芯片噴碼工藝,其特征在于,
在步驟S3中,所述芯片設(shè)置有多個(gè),且相互連接構(gòu)成芯片組件,所述芯片組件具有一組或者多組所述芯片,每組所述芯片中,相鄰的所述芯片間的間距為a;
在步驟S2中,所述通孔具有多個(gè),并與所述芯片組件上的所述芯片具有相同的布局。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種芯片噴碼工藝,其特征在于,在步驟S3中,所述芯片組體安裝在一固定治具上,所述固定治具與所述芯片、所述固定片均具有唯一的安裝位置。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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