[發明專利]在微機電系統(MEMS)裝置中耦合折疊彈簧

在審

• 申請號: 201710885349.1
• 申請日: 2017-09-27
• 公開（公告）號: CN107867670A
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 張謙;楊光隆;顧磊
• 申請（專利權）人: 美國亞德諾半導體公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B3/00;B81B5/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 周陽君

1.微機電系統(MEMS)裝置，包括：

基板；

通過第一和第二折疊彈簧可移動地耦合所述基板的質量塊，其中所述質量塊沿著所述第一折疊彈簧和/或所述第二折疊彈簧的壓縮方向設置在所述第一和第二折疊彈簧之間；和

使所述第一折疊彈簧耦合所述第二折疊彈簧的棒。

2.權利要求1所述的MEMS裝置，其中所述第一和第二折疊彈簧中的每一個包括多個折疊，其中所述棒是第一棒并且使所述第一折疊彈簧的第一折疊耦合所述第二折疊彈簧的第一折疊，以及其中所述MEMS裝置還包括使所述第一折疊彈簧的第二折疊耦合所述第二折疊彈簧的第二折疊的第二棒。

3.權利要求2所述的MEMS裝置，其中所述第一折疊彈簧的第一折疊面向所述第一折疊彈簧的第二折疊的相反方向。

4.權利要求3所述的MEMS裝置，其中所述第一棒圍繞在所述第一折疊彈簧的至少一部分周圍。

5.權利要求1所述的MEMS裝置，其中所述棒具有從所述第一折疊彈簧到所述第二折疊彈簧的長度和與所述長度垂直的寬度，并且其中所述棒的寬度比所述第一折疊彈簧的寬度大2至10倍。

6.權利要求1所述的MEMS裝置，還包括第三折疊彈簧和第四折疊彈簧，使所述質量塊耦合所述基板，并且定位為使得所述質量塊在所述第三和第四折疊彈簧之間，其中耦合所述第一折疊彈簧和所述第二折疊彈簧的棒是第一棒，并且其中所述MEMS裝置還包括耦合所述第三和第四折疊彈簧的第二棒。

7.權利要求1所述的MEMS裝置，其中所述質量塊和所述棒下均具有基本上垂直于所述第一折疊彈簧和/或所述第二折疊彈簧的壓縮方向的方向的寬度，并且其中所述棒的寬度比所述質量塊的寬度小10％。

8.權利要求1所述的MEMS裝置，其中所述棒圍繞在所述第一折疊彈簧的至少一部分周圍。

9.微機電系統(MEMS)裝置，包括：

基板；

通過第一和第二折疊彈簧可移動地耦合所述基板的質量塊，其中所述質量塊沿著所述第一折疊彈簧和/或所述第二折疊彈簧的壓縮方向設置在所述第一和第二折疊彈簧之間；和

用于使所述第一折疊彈簧耦合所述第二折疊彈簧的構件。

10.權利要求9所述的MEMS裝置，其中用于使所述第一折疊彈簧耦合所述第二折疊彈簧的構件包括用于使所述第一折疊彈簧的多個折疊耦合所述第二折疊彈簧的多個折疊的構件。

11.權利要求10所述的MEMS裝置，其中所述第一折疊彈簧的多個折疊包括彼此相反方向面對的第一折疊和第二折疊。

12.權利要求9所述的MEMS裝置，其中用于使所述第一折疊彈簧耦合所述第二折疊彈簧的構件包括用于產生使所述質量塊的第一模式與所述質量塊的第二模式共振頻率分離的構件，其中所述第二模式具有比所述第一模式大2至20倍的共振頻率。

13.權利要求9所述的MEMS裝置，還包括第三折疊彈簧和第四折疊彈簧，使所述質量塊耦合所述基板，并且定位為使得所述質量塊在所述第三和第四折疊彈簧之間，以及還包括用于使所述第三折疊彈簧耦合所述第四折疊彈簧的構件。

14.被構造以采集能量的系統，包括：

儲能裝置；和

能量采集器，耦合所述儲能裝置和被構造為向所述儲能裝置遞送電力，所述能量采集器包括：

基板；

通過第一和第二折疊彈簧可移動地耦合所述基板的質量塊，其中所述質量塊沿著所述第一折疊彈簧和/或所述第二折疊彈簧的壓縮方向設置在所述第一和第二折疊彈簧之間；和

使所述第一折疊彈簧耦合所述第二折疊彈簧的棒。

15.權利要求14所述的系統，還包括傳感器或致動器，耦合所述能量采集器和被構造為從所述能量采集器接收電力。

16.權利要求15所述的系統，其中所述傳感器或致動器是微機電系統(MEMS)傳感器，包括：

基板；

通過第一和第二折疊彈簧可移動地耦合所述基板的質量塊，其中所述質量塊沿著所述第一折疊彈簧和/或所述第二折疊彈簧的壓縮方向設置在所述第一和第二折疊彈簧之間；和

使所述第一折疊彈簧耦合所述第二折疊彈簧的棒。