[發明專利]一種用于測量掃描電子顯微鏡電子束電流的裝置在審
| 申請號： | 201710884515.6 | 申請日： | 2017-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN109557351A | 公開（公告）日： | 2019-04-02 |
| 發明（設計）人： | 劉梅 | 申請（專利權）人： | 南京譽凱電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R19/00 | 分類號： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 210000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 樣品室 電子束電流 測量掃描 電子顯微鏡 法拉第杯 電流表 掃描電子顯微鏡 隔板 電極 電子束 陶瓷 電子技術領域 測量裝置 導線連接 電流通過 高靈敏度 隔板安裝 密閉性 敏度 入射 柵網 電路 發射 貫穿 吸收 保證 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于測量掃描電子顯微鏡電子束電流的裝置，該裝置包括：設置于掃描電子顯微鏡樣品室內的法拉第杯，貫穿有兩個電極的掃描電子顯微鏡樣品室隔板，高靈敏度電流表，法拉第杯與樣品室隔板上的電極通過鍍有陶瓷的導線連接，樣品室隔板上的電極與電流表通過鍍有陶瓷的導線連接。
2.如權利要求1所述的一種用于測量掃描電子顯微鏡電子束電流的裝置，其特征在于所述法拉第杯包括：金屬杯體、從下至上依次設置于杯體內的絕緣層、金屬電極層和兩層金屬柵網層，其中金屬電極層、兩層金屬柵網層、金屬杯體各引出一電極。
3.如權利要求1所述的一種用于測量掃描電子顯微鏡電子束電流的裝置，其特征在于所述樣品室隔板的兩個電極與金屬隔板之間采用陶瓷作為絕緣材料。
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