[發(fā)明專利]一種燒結(jié)釹鐵硼永磁體表面制備鋁或鋁錫合金鍍層的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710883361.9
• 申請日: 2017-09-26
• 公開（公告）號: CN107653440A
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡志華;羅成;馬冬威;王天國
• 申請（專利權(quán)）人: 湖北汽車工業(yè)學(xué)院
• 主分類號: C23C14/16
• 分類號: C23C14/16;C23C14/32;C23C14/58
• 代理公司: 十堰博迪專利事務(wù)所42110
• 代理人: 高良軍

1.一種燒結(jié)釹鐵硼永磁體表面制備鋁或鋁錫合金鍍層的方法，其特征在于：鋁錫合金的化學(xué)式為AlSn_x(x=0~20)，根據(jù)x值變化制備不同成分的合金靶材，通過多弧離子鍍制備鋁或鋁錫合金鍍層。

2.一種如權(quán)利要求1所述的燒結(jié)釹鐵硼永磁體表面制備鋁或鋁錫合金鍍層的方法，其特征在于包括以下步驟：

（1）將燒結(jié)釹鐵硼磁體毛坯置于除油液中進行表面除油、打磨拋光，然后用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為3%~5%的硝酸溶液清洗，純酒精溶液中超聲波清洗，將清洗后的釹鐵硼基體放入烘箱中烘干，溫度為100~150℃，時間為10~30分鐘；

（2） 將燒結(jié)釹鐵硼基體放入磁控濺射離子鍍設(shè)備中，基體到靶材的距離為10~40cm，開啟磁控濺射離子鍍設(shè)備和冷卻循環(huán)水；將磁控濺射離子鍍設(shè)備抽真空至1×10^-3Pa；然后通入氬氣，控制氬氣流量，將腔室內(nèi)的氣壓調(diào)節(jié)到2±0.3 Pa，使用400~800V偏壓電源輝光放電清洗10~30分鐘；

（3） 調(diào)節(jié)偏壓電源和氬氣流量，使腔室內(nèi)的氣壓為0.5~1.2Pa，開啟多弧離子鍍電源制備鋁或鋁錫合金鍍層，并將電流維持在50~80A，偏壓電源電壓維持在100~200V，鍍膜時間為5~60分鐘；

（4） 鍍膜完成后，關(guān)閉多弧離子鍍電源、偏壓電源和磁控濺射離子鍍設(shè)備，等到腔室內(nèi)的溫度降至40℃以下打開爐門，取出鍍膜后的燒結(jié)釹鐵硼永磁體；

（5） 將鍍膜后的燒結(jié)釹鐵硼永磁體放入熱處理爐中進行擴散或表面氧化處理，熱處理溫度為300~650℃、保溫時間為1~8小時，待爐溫冷卻到40℃以下取出磁體。