[發(fā)明專利]一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710881433.6 | 申請(qǐng)日： | 2017-09-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107742598A | 公開（公告）日： | 2018-02-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙玉龍;張雪婷;胡騰江;房曠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01H61/00 | 分類號(hào)： | H01H61/00;H01H61/01 |
| 代理公司： | 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電熱 驅(qū)動(dòng) 雙穩(wěn)態(tài) mems 開關(guān) | ||
1.一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)，包括正方形基底(11)，其特征在于：正方形基底(11)上垂直分布有V型電熱執(zhí)行器I和V型電熱執(zhí)行器II，V型電熱執(zhí)行器I在一路驅(qū)動(dòng)電路U1控制下驅(qū)動(dòng)第一鉤型觸頭(6)，V型電熱執(zhí)行器II在另一路驅(qū)動(dòng)電路U2控制下驅(qū)動(dòng)第二鉤型觸頭(10)，第一鉤型觸頭(6)和第二鉤型觸頭(10)接觸即導(dǎo)通電路，第一鉤型觸頭(6)和第二鉤型觸頭(10)不接觸即斷開電路，驅(qū)動(dòng)電路U1、驅(qū)動(dòng)電路U2為脈沖電壓，驅(qū)動(dòng)電路U1和驅(qū)動(dòng)電路U2有相位差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)，其特征在于：所述的V型熱電執(zhí)行器(I)包括三個(gè)等間距的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)，第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)的兩端與第一電極錨點(diǎn)(1-1)和第二電極錨點(diǎn)(1-2)連接，第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)的中間由豎直梁(3)貫穿連接，豎直梁(3)的上端與s型導(dǎo)線(8)下端連接，s型導(dǎo)線(8)的上端與導(dǎo)線電極(9)連接；豎直梁(3)的下端與第一柔性梁(4-1)上端連接，第一柔性梁(4-1)下端與杠桿(5)的前端垂直連接，杠桿(5)的前端端頭與第二柔性梁(4-2)的下端垂直連接，第二柔性梁(4-2)的上端和錨點(diǎn)(7)連接，杠桿(5)的末端端頭與第一鉤型觸頭(6)連接；
所述的V型熱電執(zhí)行器II與V型熱電執(zhí)行器I的不同之處是：V型熱電執(zhí)行器II的第一柔性梁(4-1)與錨點(diǎn)(7)連接，第二柔性梁(4-2)與豎直梁(3)連接，杠桿(5)的末端與第二鉤型觸頭(10)連接，其余組成與連接方式均與V型熱電執(zhí)行器I相同；
所述的第一電極錨點(diǎn)(1-1)、第二電極錨點(diǎn)(1-2)，錨點(diǎn)(7)、導(dǎo)線電極(9)均固定在正方形基底(11)上，其余結(jié)構(gòu)均為懸空可動(dòng)結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)，其特征在于：所述的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)、第一柔性梁(4-1)、第二柔性梁(4-2)、杠桿(5)、第一鉤型觸頭(6)、s型導(dǎo)線(8)、第二鉤型觸頭(10)均采用硅材料制作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)，其特征在于：所述的第一鉤型觸頭(6)、第二鉤型觸頭(10)配合具備自鎖功能。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)，其特征在于：所述的電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)采用MEMS技術(shù)制備。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)，其特征在于：所述的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)間距100um-110um，長(zhǎng)1060um-1070um，寬度36um-39um，與水平方向的夾角9°-10°。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電熱驅(qū)動(dòng)雙穩(wěn)態(tài)MEMS開關(guān)，其特征在于：所述的第一柔性梁(4-1)、第二柔性梁(4-2)長(zhǎng)290um-300um，寬10um-12um，杠桿(5)放大倍數(shù)為19-21。
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