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[發明專利]一種電熱驅動雙穩態MEMS開關在審

專利信息
申請號: 201710881433.6 申請日: 2017-09-26
公開(公告)號: CN107742598A 公開(公告)日: 2018-02-27
發明(設計)人: 趙玉龍;張雪婷;胡騰江;房曠 申請(專利權)人: 西安交通大學
主分類號: H01H61/00 分類號: H01H61/00;H01H61/01
代理公司: 西安智大知識產權代理事務所61215 代理人: 賀建斌
地址: 710049 陜*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 電熱 驅動 雙穩態 mems 開關
【權利要求書】:

1.一種電熱驅動雙穩態MEMS開關,包括正方形基底(11),其特征在于:正方形基底(11)上垂直分布有V型電熱執行器I和V型電熱執行器II,V型電熱執行器I在一路驅動電路U1控制下驅動第一鉤型觸頭(6),V型電熱執行器II在另一路驅動電路U2控制下驅動第二鉤型觸頭(10),第一鉤型觸頭(6)和第二鉤型觸頭(10)接觸即導通電路,第一鉤型觸頭(6)和第二鉤型觸頭(10)不接觸即斷開電路,驅動電路U1、驅動電路U2為脈沖電壓,驅動電路U1和驅動電路U2有相位差。

2.根據權利要求1所述的一種電熱驅動雙穩態MEMS開關,其特征在于:所述的V型熱電執行器(I)包括三個等間距的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3),第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)的兩端與第一電極錨點(1-1)和第二電極錨點(1-2)連接,第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)的中間由豎直梁(3)貫穿連接,豎直梁(3)的上端與s型導線(8)下端連接,s型導線(8)的上端與導線電極(9)連接;豎直梁(3)的下端與第一柔性梁(4-1)上端連接,第一柔性梁(4-1)下端與杠桿(5)的前端垂直連接,杠桿(5)的前端端頭與第二柔性梁(4-2)的下端垂直連接,第二柔性梁(4-2)的上端和錨點(7)連接,杠桿(5)的末端端頭與第一鉤型觸頭(6)連接;

所述的V型熱電執行器II與V型熱電執行器I的不同之處是:V型熱電執行器II的第一柔性梁(4-1)與錨點(7)連接,第二柔性梁(4-2)與豎直梁(3)連接,杠桿(5)的末端與第二鉤型觸頭(10)連接,其余組成與連接方式均與V型熱電執行器I相同;

所述的第一電極錨點(1-1)、第二電極錨點(1-2),錨點(7)、導線電極(9)均固定在正方形基底(11)上,其余結構均為懸空可動結構。

3.根據權利要求2所述的一種電熱驅動雙穩態MEMS開關,其特征在于:所述的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)、第一柔性梁(4-1)、第二柔性梁(4-2)、杠桿(5)、第一鉤型觸頭(6)、s型導線(8)、第二鉤型觸頭(10)均采用硅材料制作。

4.根據權利要求1所述的一種電熱驅動雙穩態MEMS開關,其特征在于:所述的第一鉤型觸頭(6)、第二鉤型觸頭(10)配合具備自鎖功能。

5.根據權利要求1所述的一種電熱驅動雙穩態MEMS開關,其特征在于:所述的電熱驅動雙穩態MEMS開關采用MEMS技術制備。

6.根據權利要求2所述的一種電熱驅動雙穩態MEMS開關,其特征在于:所述的第一V型梁(2-1)、第二V型梁(2-2)、第三V型梁(2-3)間距100um-110um,長1060um-1070um,寬度36um-39um,與水平方向的夾角9°-10°。

7.根據權利要求2所述的一種電熱驅動雙穩態MEMS開關,其特征在于:所述的第一柔性梁(4-1)、第二柔性梁(4-2)長290um-300um,寬10um-12um,杠桿(5)放大倍數為19-21。

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