[發(fā)明專利]一種自動(dòng)圓形硅片倒片機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710879211.0
• 申請(qǐng)日: 2017-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN109560029A
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甄輝;齊風(fēng);楊玉聰;徐長(zhǎng)坡;陳澄;梁效峰;李亞哲;黃志煥;王曉捧;王宏宇;王鵬;徐艷超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津環(huán)鑫科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/68
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種自動(dòng)圓形硅片倒片機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括機(jī)架、第一倒片部、第二倒片部和傳輸裝置，所述第一倒片部和所述第二倒片部相對(duì)隔離的設(shè)置于所述機(jī)架上，所述傳輸裝置貫穿于所述第一倒片部和所述第二倒片部，用于傳送圓形硅片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)圓形硅片倒片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一倒片部?jī)?nèi)設(shè)置第一傳感器，所述第一傳感器位于所述傳輸裝置的起始位置上，用于檢知有無圓形硅片，所述第二倒片部?jī)?nèi)設(shè)置第二傳感器，所述第二傳感器位于所述傳輸裝置的尾端，用于檢知有無圓形硅片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)圓形硅片倒片機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括設(shè)置在所述第一倒片部?jī)?nèi)的送風(fēng)裝置，所述送風(fēng)裝置正壓送風(fēng)吹向所述第二倒片部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的一種自動(dòng)圓形硅片倒片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一倒片部包括第一硅片定位塊，所述第一硅片定位塊包括硅片定位塊一和硅片定位塊二，所述硅片定位塊一和所述硅片定位塊二相對(duì)的設(shè)置于所述傳輸裝置的兩側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)圓形硅片倒片機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第二倒片部包括第二硅片定位塊，所述第二硅片定位塊包括硅片定位塊三和硅片定位塊四，所述硅片定位塊三和所述硅片定位塊四相對(duì)的設(shè)置于所述傳輸裝置的兩側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)圓形硅片倒片機(jī)構(gòu)，其特征在于：還包括傳輸驅(qū)動(dòng)裝置，所述傳輸驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置于所述傳輸裝置的一側(cè)，用于驅(qū)動(dòng)所述傳輸裝置。