[發(fā)明專利]一種熱敏電阻等離子噴涂賤金屬銅雙電極及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710876070.7 | 申請(qǐng)日: | 2017-09-25 |
| 公開(公告)號(hào): | CN107863212A | 公開(公告)日: | 2018-03-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 汪洋 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 江蘇時(shí)瑞電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01C1/14 | 分類號(hào): | H01C1/14;H01C17/28 |
| 代理公司: | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司32200 | 代理人: | 樓高潮 |
| 地址: | 212434 江蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 熱敏電阻 等離子 噴涂 金屬 電極 及其 制備 方法 | ||
1.一種熱敏電阻等離子噴涂賤金屬銅雙電極,其特征在于,包括1000-2000nm厚度的賤金屬層和3000-4000厚度的銅金屬層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱敏電阻等離子噴涂賤金屬銅雙電極,其特征在于,所述銅金屬層材質(zhì)為納米晶銅粉,納米晶銅粉粒徑為10-15nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱敏電阻等離子噴涂賤金屬銅雙電極,其特征在于,所述賤金屬層材質(zhì)為Cr、Ni、Mo或W中的一種。
4.權(quán)利要求1所述的一種熱敏電阻等離子噴涂賤金屬銅雙電極的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)將賤金屬球磨處理得到納米粉末;將基體放入直流電弧等離子體蒸發(fā)設(shè)備中,抽真空,真空度為10-3-10-4Mpa,充入氮?dú)饣驓鍤猓诘獨(dú)饣驓鍤饣亓髦羞M(jìn)行賤金屬等離子噴濺處理,處理溫度為1400-1800℃,噴濺速度為1000-2000m/s,得到1000-2000nm厚度的賤金屬層后降溫至20℃,降溫速度為200-300℃/s,得到半成品基體;
(2)將納米粉末換成銅,在氮?dú)饣驓鍤饣亓髦袑氤善坊w進(jìn)行銅等離子噴濺處理,真空度為10-2-10-3Mpa,處理溫度為2000-4000℃,噴濺速度為1500-2500m/s,得到3000-4000厚度的銅金屬層后退火處理兩次,得到熱敏電阻等離子噴涂賤金屬銅雙電極。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種熱敏電阻等離子噴涂賤金屬銅雙電極的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中退火處理的熱處理時(shí)間為3-4小時(shí)。
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