[發(fā)明專利]一種適用于微波水熱反應(yīng)器的壓力變送器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710869657.5
• 申請日: 2017-09-23
• 公開（公告）號: CN107782487A
• 公開（公告）日: 2018-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 向巧云
• 申請（專利權(quán)）人: 南京律智誠專利技術(shù)開發(fā)有限公司
• 主分類號: G01L19/00
• 分類號: G01L19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種適用于微波水熱反應(yīng)器的壓力變送器，包括壓敏元件、隔離膜和填充流體，所述填充流體填充在壓敏元件與隔離膜之間，其特征在于，所述隔離膜包括基層、內(nèi)表面膜和外表面膜；

所述基層為二氧化硅、氮化硅或碳化硅中任意一種；

所述內(nèi)表面膜為氣凝膠薄膜；

所述外表面膜為金屬鍍膜。

2.如權(quán)利要求1所述的適用于微波水熱反應(yīng)器的壓力變送器，其特征在于，所述氣凝膠選自炭氣凝膠、二氧化硅氣凝膠中任意一種。

3.如權(quán)利要求1所述的適用于微波水熱反應(yīng)器的壓力變送器，其特征在于，所述金屬鍍膜選自蒙乃爾400合金、哈氏合金C-276、鋅鎳合金或鎳鈦合金中任意一種。

4.如權(quán)利要求1所述的適用于微波水熱反應(yīng)器的壓力變送器，其特征在于，所述內(nèi)表面膜厚度為200-400μm。