[發明專利]硅片花籃慢提拉裝置

在審

• 申請號: 201710867908.6
• 申請日: 2017-09-22
• 公開（公告）號: CN107473133A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 陳宏
• 申請（專利權）人: 張家港市超聲電氣有限公司
• 主分類號: B66F7/22
• 分類號: B66F7/22;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務所(普通合伙)32304
• 代理人: 馬麗麗

1.一種硅片花籃慢提拉裝置，其特征在于，包括一抬升裝置，所述抬升裝置包括水平抬升支架，所述水平抬升支架沿豎直方向移動，所述水平抬升支架頂面支撐有一活動支架，所述活動支架上表面支撐所述硅片花籃，所述活動支架與所述水平抬升支架之間固定安裝有活動桿，所述活動桿對稱設置于所述活動支架兩側，所述活動桿一端固定于所述活動支架側面中部靠左或者靠右位置，另一端轉動連接于所述水平抬升支架，所述硅片花籃軸向垂直于兩所述活動桿連線方向，所述硅片花籃兩側底部分別向外凸伸設置有第一凸部件，所述活動支架兩側分別開設有配合所述第一凸部件的缺口。

2.根據權利要求1所述的硅片花籃慢提拉裝置，其特征在于，所述硅片花籃兩側上部分別向外凸伸設置有第二凸部件。

3.根據權利要求1所述的硅片花籃慢提拉裝置，其特征在于，所述活動支架上表面支撐3組相互排列的硅片花籃。

4.根據權利要求1所述的硅片花籃慢提拉裝置，其特征在于，所述抬升裝置還包括一豎臂，所述水平抬升裝置一端固定于所述豎臂，所述豎臂上端固定安裝于一滑塊，所述滑塊上下移動安裝于一豎直導軌。

5.根據權利要求1所述的硅片花籃慢提拉裝置，其特征在于，所述水平抬升支架底部支撐設置有一傾斜支撐臂。

6.根據權利要求1所述的硅片花籃慢提拉裝置，其特征在于，還包括一水槽，所述水槽遠離所述活動桿的側面底部設置有第一擋塊，所述水槽靠近所述活動桿的側面上部設置有第二擋塊。