[發明專利]氣體傳感器和氣體檢測方法有效
| 申請號： | 201710866292.0 | 申請日： | 2017-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN107870183B | 公開（公告）日： | 2021-04-16 |
| 發明（設計）人： | 下舞賢一;服部將志;尾下順二 | 申請（專利權）人： | 太陽誘電株式會社 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳;季向岡 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 傳感器 檢測 方法 | ||
1.一種氣體傳感器，其特征在于，包括：
因特定氣體的吸附而發生共振頻率變化的第1檢測元件，其包括第1振子和設置在所述第1振子上的吸附所述氣體的第1吸附膜；
因所述氣體的水分而發生共振頻率變化的第2檢測元件，其包括第2振子和設置在所述第2振子上的吸附所述氣體的水分的第2吸附膜；
因所述氣體的溫度而發生共振頻率變化的第3檢測元件，其包括第3振子；和
運算部，其基于所述第2檢測元件的共振頻率變化和所述第3檢測元件的共振頻率變化來修正所述第1檢測元件的共振頻率變化，
所述第1振子、所述第2振子和所述第3振子具有相同的結構，且各自具有相同或等價的共振特性。
2.如權利要求1所述的氣體傳感器，其特征在于：
還包括因與所述氣體不同的特定氣體的吸附而發生共振頻率變化的第4檢測元件，其包括第4振子和設置在所述第4振子上的吸附與所述氣體不同的特定氣體的第4吸附膜，
所述第1振子、所述第2振子、所述第3振子和所述第4振子具有相同的結構，且各自具有相同或等價的共振特性。
3.如權利要求2所述的氣體傳感器，其特征在于：
所述運算部基于所述第2檢測元件的共振頻率變化和所述第3檢測元件的共振頻率變化來修正所述第4檢測元件的共振頻率變化。
4.如權利要求1所述的氣體傳感器，其特征在于：
所述運算部基于所述第3檢測元件的共振頻率變化來修正所述第2檢測元件的共振頻率變化，基于修正結果和所述第3檢測元件的共振頻率變化來修正所述第1檢測元件的共振頻率變化。
5.如權利要求1或2所述的氣體傳感器，其特征在于：
所述第1振子和所述第2振子包括AT切割石英片，
所述第3振子包括共振頻率相對于溫度變化線性變化的石英片。
6.一種氣體檢測方法，其特征在于：
檢測第1檢測元件的因特定氣體的吸附所致的共振頻率變化的步驟，所述第1檢測元件包括第1振子和設置在所述第1振子上的吸附所述氣體的第1吸附膜；
檢測第2檢測元件的因所述氣體的水分所致的共振頻率變化的步驟，所述第2檢測元件包括第2振子和設置在所述第2振子上的吸附所述氣體的水分的第2吸附膜；
檢測第3檢測元件的所述氣體的溫度所致的共振頻率變化的步驟，所述第3檢測元件包括第3振子；
基于所述第3檢測元件的檢測結果來修正所述第2檢測元件的檢測結果的步驟；
基于修正結果和所述第3檢測元件的檢測結果來修正所述第1檢測元件的檢測結果的步驟；和
根據修正后的所述第1檢測元件的檢測結果來確定所述氣體的步驟，
所述第1振子、所述第2振子和所述第3振子具有相同的結構，且各自具有相同或等價的共振特性。
7.如權利要求6所述的氣體檢測方法，其特征在于：
所述第1振子和所述第2振子包括AT切割石英片，
所述第3振子包括共振頻率相對于溫度變化線性變化的石英片。
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