[發明專利]一種適用于銅絲的耐腐蝕改性方法有效
| 申請號： | 201710863513.9 | 申請日： | 2017-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN107653385B | 公開（公告）日： | 2019-04-12 |
| 發明（設計）人： | 邵光偉 | 申請（專利權）人： | 江蘇攬鑫新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C22C1/02 | 分類號： | C22C1/02;C22C9/06;C22F1/08;C25D3/50;C25D7/06;H01L21/48;H01L23/49 |
| 代理公司： | 蘇州誠逸知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32313 | 代理人： | 高娟 |
| 地址： | 215500 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 適用于 銅絲 腐蝕 改性 方法 | ||
1.一種適用于銅絲的耐腐蝕改性方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)從原料銅中提取純度大于99.999％的高純銅，清洗、烘干后備用；
(2)將高純銅以及占高純銅質量5.5wt％的鎳、3.8wt％的鎵、1.2wt％的磷鎢酸鉀、0.5wt％的納米氮化鉭置于熔煉裝置中熔化，采用木炭及石墨鱗片覆蓋銅液表面保證熔化時的真空狀態，并經在線除氣、脫氧、攪拌，用牽引機組離合式真空上引無氧合金銅桿，隨后采用連續擠壓機組生產合金銅帶坯料；
(3)將合金銅帶坯料進行粗拔以制得直徑為2mm的合金銅絲并退火；
(4)將退火后的按重量百分比計97.5wt％的合金銅絲作為銅芯，在所述銅芯的表面上電鍍2.5wt％的純鈀；
(5)將完成步驟(4)的電鍍有純鈀保護層的合金銅絲，精拔成直徑為0.25mm的鍍鈀合金銅絲。
2.根據權利要求1所述的適用于銅絲的耐腐蝕改性方法，其特征在于：所述步驟(2)中，引桿速度550～650mm/min，引桿直徑為25mm。
3.根據權利要求1所述的適用于銅絲的耐腐蝕改性方法，其特征在于：所述步驟(3)中，退火溫度為350℃，退火時間為50min。
4.根據權利要求1所述的適用于銅絲的耐腐蝕改性方法，其特征在于：所述步驟(4)中，電鍍用鈀的純度要求大于99.999％。
5.權利要求1～4任一項所述的改性方法所制得的鍍鈀合金銅絲在集成電路中的應用。
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