[發(fā)明專利]一種用于OLED蒸鍍的蒸發(fā)源裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710860389.0
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號(hào): CN107815647B
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭子明;趙軍;呂海超;彭勃
• 申請（專利權(quán)）人: 上海升翕光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 22210 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 南小平

1.一種用于OLED蒸鍍的蒸發(fā)源裝置，包括由坩堝（10）、加熱器（20）組成的蒸發(fā)源主體，通過加熱器（20）對(duì)坩堝（10）進(jìn)行加熱；

其特征在于，還包括設(shè)置于蒸發(fā)源主體上的振動(dòng)器（40），所述振動(dòng)器（40）設(shè)置于所述坩堝（10）的正下方，通過蒸發(fā)源主體上設(shè)置的振動(dòng)器（40），可以對(duì)坩堝（10）內(nèi)的蒸鍍材料（30）進(jìn)行持續(xù)的或間斷式的振動(dòng)，使坩堝（10）內(nèi)的蒸鍍材料（30）與坩堝（10）側(cè)壁保持最大接觸面積，以提高蒸鍍材料（30）受熱的均勻性；

所述坩堝（10）內(nèi)設(shè)有能透過蒸鍍材料蒸汽的擋板（50），且擋板（50）置于所述坩堝（10）的噴嘴（101）下方；所述擋板（50）為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)；

所述坩堝（10）具有單點(diǎn)噴嘴，坩堝（10）本體為空心圓柱和空心圓臺(tái)的組合結(jié)構(gòu)、或者為空心長方體和空心四棱臺(tái)的組合結(jié)構(gòu)；

或者所述坩堝（10）具有多點(diǎn)噴嘴或線性噴嘴，坩堝（10）本體為空心長方體和空心四棱臺(tái)的組合結(jié)構(gòu)、或者空心正方體和空心四棱臺(tái)的組合結(jié)構(gòu)；

所述坩堝（10）的下部結(jié)構(gòu)設(shè)置成上大下小的上開口梯形截面形狀；所述梯形截面形狀為等腰梯形，腰邊與水平面夾角為30°～60°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于OLED蒸鍍的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述坩堝（10）的噴嘴（101）周圍也設(shè)置有加熱器（20）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于OLED蒸鍍的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述振動(dòng)器（40）為電動(dòng)振動(dòng)器或氣動(dòng)振動(dòng)器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的用于OLED蒸鍍的蒸發(fā)源裝置，其特征在于，所述振動(dòng)器（40）數(shù)量為1個(gè)、2個(gè)、3個(gè)或更多個(gè)。