[發(fā)明專利]一種測量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710860038.X
• 申請(qǐng)日: 2017-09-21
• 公開（公告）號(hào): CN107687814B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 巴音賀希格;呂強(qiáng);宋瑩;李文昊;劉兆武;王瑋;李爍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種測量裝置，用于掃描干涉場曝光裝置工作臺(tái)步進(jìn)方向定位測量，其特征在于，所述測量裝置包括：工作臺(tái)、光柵基底、步進(jìn)方向測量鏡、步進(jìn)方向干涉儀、光學(xué)曝光裝置以及全息體光柵相位定位測量裝置；

其中，所述光柵基底與所述步進(jìn)方向測量鏡固定于所述工作臺(tái)的同一表面，且所述步進(jìn)方向測量鏡設(shè)置于所述光柵基底的一側(cè)；所述步進(jìn)方向干涉儀以設(shè)定距離與所述步進(jìn)方向測量鏡相對(duì)固定設(shè)置；所述光學(xué)曝光裝置以第一預(yù)設(shè)距離固定于所述工作臺(tái)上方，用于發(fā)射出曝光光束；所述全息體光柵相位定位測量裝置以第二預(yù)設(shè)距離固定于所述工作臺(tái)上方，用于發(fā)射出測量光束實(shí)時(shí)測量已完成曝光的全息體光柵的相位變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述工作臺(tái)進(jìn)行定位測量；

其中，所述全息體光柵相位定位測量裝置包括：

測量讀數(shù)頭，所述測量讀數(shù)頭用于形成兩束測量光束，并接收所述測量光束經(jīng)所述光柵基底衍射后的反饋光束；

接收器，所述接收器設(shè)置于所述測量讀數(shù)頭的光出射端，用于對(duì)所述反饋光束進(jìn)行處理；

光闌，所述光闌設(shè)置于所述測量讀數(shù)頭的光入射端，用于對(duì)打開或關(guān)閉所述測量讀數(shù)頭的光入射端；

所述測量裝置還包括：激光發(fā)生裝置；

其中，所述激光發(fā)生裝置與所述測量讀數(shù)頭的光入射端相對(duì)設(shè)置，且相對(duì)位置不變；

其中，通過打開所述光闌，所述激光發(fā)生裝置發(fā)射出的激光進(jìn)入所述測量讀數(shù)頭，從所述測量讀數(shù)頭出射的激光以對(duì)稱的光路入射到曝光完成的相對(duì)應(yīng)的全息體光柵上，經(jīng)過全息體光柵的相位調(diào)制，衍射光沿原路返回并發(fā)生干涉，所述接收器接收干涉信號(hào)進(jìn)行處理。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述測量裝置還包括：固定臺(tái)；

其中，所述固定臺(tái)以第三預(yù)設(shè)距離固定于所述工作臺(tái)上方；所述光學(xué)曝光裝置以及所述全息體光柵相位定位測量裝置固定于所述固定臺(tái)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述光學(xué)曝光裝置與所述全息體光柵相位定位測量裝置之間的距離滿足第四預(yù)設(shè)距離；

其中，所述第四預(yù)設(shè)距離為全息體光柵相位定位測量裝置位于光學(xué)曝光裝置沿步進(jìn)方向的后方位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述接收器包括：

光電轉(zhuǎn)換裝置，所述光電轉(zhuǎn)換裝置用于將所述反饋光束轉(zhuǎn)換成相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)；

信號(hào)放大裝置，所述信號(hào)放大裝置用于對(duì)所述相對(duì)應(yīng)的電信號(hào)進(jìn)行放大處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述激光發(fā)生裝置與所述測量讀數(shù)頭之間通過光纖進(jìn)行連接。