[發明專利]一種掃描線圈、掃描電鏡及掃描線圈的灌封裝置

有效

• 申請號: 201710859427.0
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN107768220B
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 孟祥良
• 申請（專利權）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號: H01J37/147
• 分類號: H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 李旦華

1.一種掃描線圈，用于掃描電鏡，包括骨架，設置在所述骨架上的電路板，固定在所述骨架上的線圈，其特征在于，還包括將所述骨架、線圈、電路板封裝一體的封裝膠體層，且所述電路板的接線端伸出所述封裝膠體層外，所述封裝膠體層與所述骨架同軸設置。

2.一種掃描電鏡，其特征在于，具有如權利要求1所述的掃描線圈。

3.一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，包括：

底座；

工裝基體，設置在所述底座上，其上成型有通腔；

頂蓋，設置在所述工裝基體上，所述頂蓋、所述工裝基體、所述底座連接一體后形成有封裝所述掃描線圈的灌封腔，所述掃描線圈包括骨架、設置在所述骨架上的電路板、固定在所述骨架上的線圈，所述電路板的接線端處于所述灌封腔外，且所述底座、所述頂蓋至少其中一個上設有處于所述灌封腔內的，對所述掃描線圈進行同軸定位，使所述掃描線圈的骨架的軸線與所述灌封腔的軸線同軸的定位結構；

灌封口，成型在所述頂蓋上，灌封膠通過所述灌封口進入所述灌封腔對處于所述灌封腔內的所述掃描線圈進行灌封。

4.根據權利要求3所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述工裝基體與所述底座通過止口結構配合后可拆卸連接。

5.根據權利要求4所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述工裝基體與所述底座通過螺紋緊固件可拆卸連接。

6.根據權利要求3所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述定位結構包括設置在所述底座上對所述掃描線圈的骨架的第一端進行同軸定位的第一定位結構，以及設置在所述頂蓋上對所述骨架的第二端進行同軸定位的第二定位結構。

7.根據權利要求6所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述第一定位結構為成型在所述底座上的凸出部，所述凸出部適合插入所述骨架的第一端的軸孔內。

8.根據權利要求6所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述頂蓋上設有銷軸孔，所述第二定位結構為一端穿過所述銷軸孔的同軸銷，所述同軸銷的一端適合插入所述骨架的第二端的軸孔內。

9.根據權利要求3-8中任一項所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述灌封裝置還包括設置在所述頂蓋、所述工裝基體、所述底座圍成的空間內的易脫模組件，所述灌封腔由所述易脫模組件構成。

10.根據權利要求9所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述易脫模組件包括

成型圓筒，設置在所述工裝基體的內壁上；

成型底托，連接在所述成型圓筒的第一端端部與所述底座之間；

法蘭成型腔體，連接在所述成型圓筒的第二端端部；

成型上蓋，設置在所述頂蓋與所述法蘭成型腔體之間，對接后與所述成型圓筒、所述成型底托所述灌封腔。

11.根據權利要求10所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述易脫模組件均采用不粘材料制成。

12.根據權利要求11所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述不粘材料為聚四氟乙烯。

13.根據權利要求11所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述底座、所述工裝基體、所述上蓋采用金屬材料制成。

14.根據權利要求3-8中任一項所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述底座上成型有排氣結構。

15.根據權利要求14所述的一種掃描線圈的灌封裝置，其特征在于，所述排氣結構包括貫穿設置在底座上且與所述骨架的軸孔連通的排氣孔。