[發(fā)明專利]含堿性香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂及其光刻膠組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710858228.8
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN107621751B
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許箭;劉曉華;秦龍;汪武平;耿文練
• 申請（專利權(quán)）人: 儒芯微電子材料（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;C08F212/14;C08F220/36;C08F220/18;C08F212/12
• 代理公司: 上海劍秋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31382
• 代理人: 楊飛

1.用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂，其特征在于，所述聚合物樹脂的通式如以下式P-I-1、式P-I-2、式P-I-3、式P-II-1、式P-II-2、式P-II-3之一所示：

式P-I-1式P-II-1

式P-I-2式P-II-2

式P-I-3式P-II-3

其中R₁為H或甲基，R₂為H或含1～10個碳原子的直鏈、支鏈或環(huán)狀烴類；X和Y為含0～10個碳原子的直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類或醚類結(jié)構(gòu)；R₃、R₄為H或含1～10個碳原子的直鏈或支鏈烴類結(jié)構(gòu)；R₅、R₆為H或含1～5個碳原子的直鏈、支鏈烴類結(jié)構(gòu)；R₇為含1～10個碳原子的直鏈、支鏈或環(huán)狀烴類結(jié)構(gòu)；R₈為含1～10個碳原子的直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類結(jié)構(gòu)或、結(jié)構(gòu)，其中R₁₀為含1～10個碳原子的直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂，其特征在于，所述聚合物樹脂由香豆素單體與其他單體共聚形成，所述其他單體是指烯類單體或丙烯酸酯類單體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂，其特征在于，所述聚合物樹脂的重均分子量范圍為1000～100000，分子量分布為1～5。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂，其特征在于，所述香豆素單體的通式如以下式I或式II所示：

式I 式II

其中R₁為H或甲基，R₂為H或含1～10個碳原子的直鏈、支鏈或環(huán)狀烴類；X和Y為含0～10個碳原子的直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類或醚類結(jié)構(gòu)；R₃和R₄為H或含1～10個碳原子的直鏈或支鏈烴類結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂，其特征在于，所述香豆素單體含有堿性香豆素結(jié)構(gòu)和丙烯酸酯結(jié)構(gòu)或烯烴結(jié)構(gòu)，所述堿性香豆素結(jié)構(gòu)與所述丙烯酸酯結(jié)構(gòu)或與所述烯烴結(jié)構(gòu)由含有0～10個碳原子的直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類或醚類結(jié)構(gòu)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂，其特征在于，所述烯類單體選自對羥基苯乙烯、苯乙烯、羥基保護的對羥基苯乙烯，所述丙烯酸酯類單體選自甲基丙烯酸酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸叔丁酯。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂的合成方法，其特征在于，包括如下步驟：

將所述香豆素單體、所述其他單體和引發(fā)劑按照一定比例溶于反應(yīng)溶劑中，在氮氣保護下，加熱至50～120℃，磁力攪拌下反應(yīng)5～24 h；將反應(yīng)得到的混合溶液濃縮并在水中沉淀析出，析出的沉淀經(jīng)真空干燥6～48 h，即得到所述聚合物樹脂。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂的合成方法，其特征在于，所述香豆素單體占比為所有單體總摩爾量的1～30%，所述引發(fā)劑占比為所有單體總摩爾量的0.1～10%。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂的合成方法，其特征在于，所述香豆素單體占比為所有單體總摩爾量的5～20%。

10.一種光刻膠組合物，其特征在于，由權(quán)利要求1～6任一項所述的用于正性光刻膠的含香豆素結(jié)構(gòu)的聚合物樹脂與光酸產(chǎn)生劑、光刻膠溶劑、表面活性劑復(fù)配制得，制得的所述光刻膠組合物為正性光刻膠。