[發(fā)明專利]一種用于TFT?LCD光刻膠高效清洗劑在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710851484.4 | 申請日： | 2017-09-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107608182A | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 白航空 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥惠科金揚(yáng)科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/42 | 分類號(hào)： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 tft lcd 光刻 高效 洗劑 | ||
1.一種用于TFT-LCD光刻膠高效清洗劑，其特征在于，其是由以下質(zhì)量百分比的原料組成：季銨氫氧化物7-18％、吡咯烷酮類溶劑5-14％、季戊四醇2-3％、醇胺9-12％、間苯二酚5-8％、表面活性劑1-3％以及有機(jī)溶劑65-70％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于TFT-LCD光刻膠高效清洗劑，其特征在于：所述季銨氫氧化物選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、甲基三乙基氫氧化銨、羥乙基三甲基氫氧化銨、十六烷基三甲基氫氧化銨和芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于TFT-LCD光刻膠高效清洗劑，其特征在于：所述吡咯烷酮類溶劑選自N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-羥乙基吡咯烷酮和N-環(huán)己基吡咯烷酮中的一種或多種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于TFT-LCD光刻膠高效清洗劑，其特征在于：所述醇胺選自單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、異丙醇胺、2-(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一種或幾種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于TFT-LCD光刻膠高效清洗劑，其特征在于：所述表面活性劑為聚乙烯吡咯烷酮。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于TFT-LCD光刻膠高效清洗劑，其特征在于：所述有機(jī)溶劑選自亞砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一種或多種。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
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