[發明專利]氣體傳感器和其制造方法

在審

• 申請號: 201710847795.3
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN107870182A
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 柳義炫;P·特雷福納斯三世;B-H·李
• 申請（專利權）人: 羅門哈斯電子材料有限責任公司;羅門哈斯電子材料韓國有限公司
• 主分類號: G01N27/00
• 分類號: G01N27/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 陳哲鋒,胡嘉倩

1.一種氣體傳感器，包含：

襯底；

安置于所述襯底上的具有第一表面和第二表面的第一聚合層；其中所述第一表面接觸所述襯底，并且其中所述第二表面與所述第一表面相對并具有比所述第一表面更高的表面積；其中所述第一聚合層包含具有脫除保護基的氫供體的重復單元；以及

安置于所述第一聚合層上的第二聚合層；其中所述第二聚合層衍生自包含氫受體的重復單元。

2.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中包含所述氫受體的所述重復單元包含含氮基團，并且其中所述氫受體用來與第一聚合物的氫供體進行氫鍵結、范德華力相互作用、π-π相互作用、靜電相互作用或其組合。

3.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中包含所述氫受體的所述重復單元進一步包含傳感受體；其中所述傳感受體用來與氣體進行氫鍵結、范德華力相互作用、π-π相互作用、靜電相互作用或其組合。

4.根據權利要求2所述的氣體傳感器，其中所述含氮基團選自胺基、酰胺基和吡啶基。

5.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述脫除保護基的氫供體通過使具有受保護的酸基和/或受保護的醇基的重復單元脫除保護基來獲得。

6.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述第二表面經過紋理化。

7.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述經過紋理化的第二表面的表面積為所述第一表面的表面積的至少兩倍。

8.根據權利要求1所述的氣體傳感器，其中所述第二聚合層具有經過紋理化的自由表面。

9.一種制造氣體傳感器的方法，包含：

將具有第一表面和第二表面的第一聚合層安置于襯底上；其中所述第一表面接觸所述襯底，并且其中所述第二表面與所述第一表面相對并具有比所述第一表面更高的表面積；其中所述第一聚合層包含具有脫除保護基的氫供體的重復單元；和

將第二聚合層安置于所述第一聚合層上；其中所述第二聚合層衍生自包含氫受體的重復單元。

10.一種檢測氣體的方法，包含：

使氣體傳感器與氣態分子接觸；其中所述氣體傳感器包含：

襯底；

安置于所述襯底上的具有第一表面和第二表面的第一聚合層；其中所述第一表面接觸所述襯底，并且其中所述第二表面與所述第一表面相對并具有比所述第一表面更高的表面積；其中所述第一聚合層包含具有脫除保護基的氫供體的重復單元；以及

安置于所述第一聚合層上的第二聚合層；其中所述第二聚合層衍生自包含氫受體的重復單元；和

在所述氣體分子與所述第二聚合層之間形成氫鍵、范德華力相互作用、π-π相互作用或靜電相互作用中的至少一種；以及

基于所述傳感器在形成氫鍵、范德華力相互作用、π-π相互作用和靜電相互作用之前與之后的差異來確定所述氣體分子的身份標識。

11.根據權利要求10所述的方法，其中所述差異是重量差異或導電性差異。