[發(fā)明專利]一種帶有減震機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710847619.X
• 申請(qǐng)日: 2017-09-19
• 公開（公告）號(hào): CN107591187A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鐘博文;孫立寧;王振華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州邁客榮自動(dòng)化技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G12B5/00
• 分類號(hào): G12B5/00;G12B9/10
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32257
• 代理人: 楊慧林

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及先進(jìn)制造中的微操作技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種帶有減震機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)。

背景技術(shù)

近年來，隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)技術(shù)的不斷進(jìn)步，微電子制造、超精密機(jī)械制造、微機(jī)器人操作、精密測量光學(xué)儀器及生物醫(yī)學(xué)操作等領(lǐng)域飛速發(fā)展，迫切需要能夠在納米級(jí)精度上進(jìn)行定位和操作的系統(tǒng)和裝備。在這些領(lǐng)域中，具有納米精度的微動(dòng)平臺(tái)是其核心部件，其研究倍受國內(nèi)外學(xué)者的青睞。傳統(tǒng)的機(jī)械結(jié)構(gòu)，如電機(jī)、齒輪、鉸鏈等由于受到裝配及運(yùn)動(dòng)間隙、摩擦、阻尼等因素的影響，無法達(dá)到納米精度，而以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)器，廣泛應(yīng)用于具有納米精度的微動(dòng)平臺(tái)。

目前基于放大機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)具有傳動(dòng)不精密、誤差大、由于外界發(fā)生的撞擊對(duì)于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的損壞，并且在被損壞的情況下繼續(xù)工作，對(duì)傳動(dòng)精度由極大的影響。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的是提供一種帶有減震機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)。

本發(fā)明的一種帶有減震機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：包括一矩形基座和設(shè)于所述基座內(nèi)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述基座上設(shè)有兩驅(qū)動(dòng)方向相互垂直的第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器，所述第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與所述第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的兩端分別設(shè)有半球形的推力球，所述第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與所述第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的其中一端抵持于第一彈簧的端部，所述第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與所述第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的另一端分別對(duì)應(yīng)設(shè)有減震機(jī)構(gòu)，所述減震機(jī)構(gòu)包括第一支撐板與第二支撐板，所述第一支撐板與所述第二支撐板之間設(shè)有第二彈簧，所述第二支撐板設(shè)于所述基座上，所述第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與所述第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器分別通過螺釘與相對(duì)應(yīng)的第一支撐板固定連接，所述基座的側(cè)壁設(shè)有橡膠層，所述基座的底壁上設(shè)有防水層，所述第一彈簧的另一端抵持一位移放大機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述位移放大機(jī)構(gòu)包括一三角形推板和設(shè)于所述三角形推板上的直角梯形板，所述三角形推板的斜邊與所述直角梯形板的斜邊滑動(dòng)連接，所述直角梯形板與三角形推板滑動(dòng)連接的接觸面上設(shè)有一將所述三角形推板限制在接觸面內(nèi)的擋臂，所述擋臂沿所述直角梯形板的斜邊的長度方向設(shè)置，所述三角形推板具有第一直角邊與第二直角邊，所述第一直角邊的長度小于所述第二直角邊的長度，所述直角梯形板具有上底與下底，所述上底的長度小于所述下底的長度，所述第一直角邊與所述上底位于同一側(cè)，所述第二直角邊與所述下底位于同一側(cè)。

進(jìn)一步的，所述基座上設(shè)有兩相互垂直的矩形凹槽，所述第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器與所述第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器分別設(shè)于對(duì)應(yīng)的凹槽內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述推力球?yàn)橄鹉z片。

進(jìn)一步的，所述第一彈簧的內(nèi)徑小于所述推力球的外徑。

進(jìn)一步的，所述基座上還設(shè)有壓電陶瓷信號(hào)線出口，所述基座上端設(shè)有微動(dòng)平臺(tái)端蓋，微動(dòng)平臺(tái)端蓋通過螺栓與基座連接。

借由上述方案，本發(fā)明至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本申請(qǐng)通過在基座上設(shè)置減震機(jī)構(gòu)可以減少外界振動(dòng)對(duì)于微動(dòng)平臺(tái)的損壞，從而保證了微動(dòng)平臺(tái)的精密度，減小誤差。

上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

附圖說明

圖1是本發(fā)明帶有減震機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明帶有減震機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)的直角梯形板結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：

2是基座、4是運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、6是第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、8是第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器、10是推力球、12是第一彈簧、14是第一支撐板、16是第二支撐板、18 是第二彈簧、20是橡膠層、22是三角形推板、2201是第一直角邊、2202是第二直角邊、24是凹槽、25是直角梯形板、26是擋臂。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。

參見圖1至圖2，本發(fā)明一較佳實(shí)施例所述的一種帶有減震機(jī)構(gòu)的微動(dòng)平臺(tái)，包括一矩形基座2和設(shè)于所述基座2內(nèi)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)4，所述基座上設(shè)有兩驅(qū)動(dòng)方向相互垂直的第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器6與第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8，所述第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器6與所述第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8的兩端分別設(shè)有半球形的推力球10，所述第一壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器6與所述第二壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器8的其中一端抵持于第一彈簧12的端部，第一彈簧的內(nèi)徑小于所述推力球的外徑，優(yōu)選推力球?yàn)橄鹉z片。