[發明專利]一種基于拉曼光譜系統測定薄膜厚度的裝置及方法

在審

• 申請號: 201710847015.5
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN107655415A
• 公開（公告）日: 2018-02-02
• 發明（設計）人: 麻姍姍;嵇明翔;魯揚
• 申請（專利權）人: 合肥國軒高科動力能源有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙)34119
• 代理人: 楊霞,翟攀攀

1.一種基于拉曼光譜系統測定薄膜厚度的裝置，其特征在于，包括：底座1、載樣臺2和連接機構；

底座1安裝在拉曼光譜系統的顯微鏡電動臺上，連接機構用于將載樣臺2移動地安裝在底座1上；載樣臺2用于承載待測物。

2.如權利要求1所述的基于拉曼光譜系統測定薄膜厚度的裝置，其特征在于，連接機構包括安裝在載樣臺2上的螺紋柱3和設置在底座1上并與螺紋柱3匹配的螺紋孔4。

3.如權利要求1所述的基于拉曼光譜系統測定薄膜厚度的裝置，其特征在于，載樣臺2為矩形。

4.一種基于拉曼光譜系統測定薄膜厚度的方法，其特征在于，采用如權利要求1至3任一項所述的裝置，該方法具體為：將待測薄膜放置在載樣臺2上；調節載樣臺2和顯微鏡電動平臺，將拉曼光譜系統的發射激光聚焦在載樣臺2抵靠待測薄膜的一側；在待測薄面相對的兩側平面上選取多個待測點，根據待測點計算待測薄膜的厚度。

5.如權利要求4所述的基于拉曼光譜系統測定薄膜厚度的方法，其特征在于，在待測薄面相對的兩側平面上選取多個待測點，根據待測點計算待測薄膜的厚度的具體方式為：在待測薄膜相對的兩個平面上任意選取組成三角形的三個待測點A、B、C，且B、C位于待測薄膜的同一側；獲得A、B、C三點的坐標，并根據三角形面積公式計算待測薄膜的厚度；

三角形面積公式為：S＝[p(p-a)(p-b)(p-c)]1/2＝1/2aⅹd；其中a為標量BC，b為標量AC，c為標量AB，p＝1/2(a+b+c)，d為待測薄膜的厚度。

6.如權利要求4所述的基于拉曼光譜系統測定薄膜厚度的方法，其特征在于，具體包括以下步驟：

S1、將待測薄膜放置在載樣臺2上；

S2、調節連接機構和顯微鏡電動平臺至載樣臺2抵靠待測薄膜的表面與顯微鏡電動平臺的X軸或者Y軸方向平行；

S3、在待測薄膜的一側選取一個待測點作為原點，并在待測薄膜的另一側任選一個待測點作為測試點；

S4、讀取測試點坐標，并根據測試點坐標獲得待測薄膜厚度。