[發(fā)明專利]一種白光自干涉表面檢測(cè)儀

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710846015.3
• 申請(qǐng)日: 2017-09-19
• 公開（公告）號(hào): CN107702661A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭明杰;李志芳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建師范大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24;G02B21/06;G02F1/13
• 代理公司: 福州市博深專利事務(wù)所(普通合伙)35214
• 代理人: 林志崢

1.一種白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，包括載物臺(tái)以及設(shè)置于載物臺(tái)上的顯微鏡光路和成像光路；所述顯微鏡光路由上至下依次包括科勒照明系統(tǒng)光源、孔徑光闌、分光棱鏡和物鏡，所述孔徑光闌上設(shè)有隨機(jī)分布的陣列針孔；所述成像光路由外至內(nèi)依次包括CCD、傅里葉變換鏡頭、純位相液晶光閥和望遠(yuǎn)透鏡；所述顯微鏡光路的光軸與載物臺(tái)垂直，所述成像光路的光軸與顯微鏡光路的光軸垂直，且顯微鏡光路的光軸與成像光路的光軸的交點(diǎn)在分光棱鏡的分光面上。

2.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述科勒照明系統(tǒng)光源包括依次設(shè)置的鹵素?zé)魺艚z、磨砂片和起偏片，所述鹵素?zé)魺艚z連接于可調(diào)電壓。

3.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述分光棱鏡為寬帶分光棱鏡。

4.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述純位相液晶光閥為純位相電尋址PAL型液晶光閥，所述液晶光閥連接于電腦，由電腦控制其顯示內(nèi)容。

5.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述科勒照明系統(tǒng)光源和孔徑光闌之間還設(shè)置有集光鏡，所述孔徑光闌位于所述集光鏡的后焦面上，且所述孔徑光闌與所述物鏡的后焦面共軛。

6.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述孔徑光闌和分光棱鏡之間還設(shè)置有視野光闌和聚光鏡，所述視野光闌設(shè)置于所述聚光鏡的前焦面上。

7.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述載物臺(tái)設(shè)置于六維調(diào)整臺(tái)上。

8.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述成像光路設(shè)置于所述分光棱鏡的左側(cè)，所述分光棱鏡的右側(cè)壁上貼有消光紙。

9.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述CCD以及所述傅里葉變換鏡頭的光路光軸傾斜，且與所述純位相液晶光閥顯示的光柵的一次光方向?qū)R。

10.如權(quán)利要求1所述的白光自干涉表面檢測(cè)儀，其特征在于，所述物鏡為無限遠(yuǎn)平場消色差物鏡，所述物鏡的放大倍數(shù)為10x、20x或40x，所述物鏡的數(shù)值孔徑在0.3-0.85之間。