[發明專利]用于MEMS開關器件的保護方案

有效

• 申請號: 201710843643.6
• 申請日: 2017-09-19
• 公開（公告）號: CN107840303B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: P·L·菲茨格羅德;S·帕薩薩拉希;J·A·薩塞多
• 申請（專利權）人: 亞德諾半導體集團
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 劉倜

1.一種具有微機電開關器件和固態箝位電路的電子電路，所述電子電路被構造為接收邏輯電平信號，并提供控制信號以響應于接收的邏輯電平信號來靜電啟動所述微機電開關器件，所述電子電路包括：

集成電路器件封裝，包括：

第一基板；

位于所述第一基板之上或之內的集成微機電開關器件；

外殼，限定使周圍環境和所述集成微機電開關器件隔離的區域；和

固態箝位電路，電連接所述微機電開關器件，并且被構造為抑制或壓制由于瞬態過電壓狀態而引起的所述微機電開關器件的損壞，所述固態箝位電路包括第一集成二極管器件和第二集成二極管器件的串聯布置的互補分支，其中同一分支中的所述第一集成二極管器件和第二集成二極管器件具有互補電容電壓關系，所述第一集成二極管器件和第二集成二極管器件分別包括橫向分開的陽極區域和陰極區域，所述陽極區域和陰極區域被布置為提供相對于參考節點的正向電壓擺幅和負向電壓擺幅的保護。

2.根據權利要求1所述的電子電路，其中所述第一集成二極管器件和第二集成二極管器件被布置以提供用于所述固態箝位電路的線性或大約線性整體電容電壓關系。

3.根據權利要求1所述的電子電路，其中所述第一集成二極管器件包括由半導體器件內的正導電類型和負導電類型的區域的第一布置限定的第一類型的二極管；和

其中所述第二集成二極管器件包括由半導體器件內的正導電類型和負導電類型的第二布置限定的第二類型的二極管，所述第二布置包括與限定所述第一類型的二極管的相應區域相比具有互補導電類型的導電區域。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的電子電路，其中所述固態箝位電路使用絕緣體上硅基板構造單片集成。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的電子電路，其中所述固態箝位電路使用第二基板異構集成。

6.根據權利要求5所述的電子電路，其中所述第二基板包括限定所述參考節點的金屬化層；和

其中所述參考節點和至少部分由包括為外殼的一部分的電絕緣材料限定的導電區域導電隔離。

7.根據權利要求1至3中任一項所述的電子電路，其中所述外殼是限定密封隔離區域以使所述集成微機電開關器件和周圍環境隔離的密封外殼，所述密封外殼包含電絕緣材料。

8.根據權利要求7所述的電子電路，其中第二基板包括所述密封外殼的一部分。

9.根據權利要求1至3中任一項所述的電子電路，其中所述固態箝位電路與所述微機電開關器件在相同的基板之上或之內共集成。

10.根據權利要求9所述的電子電路，其中所述固態箝位電路的至少一部分位于所述微機電開關器件正上方或正下方的基板內。

11.根據權利要求1至3中任一項所述的電子電路，其中所述固態箝位電路和所述微機電開關器件放置在層疊基板上，所述層疊基板包括和其上或其中制造所述微機電開關器件的基板不同的材料。

12.一種保護微機電開關器件的方法，該方法包括：

使信號耦合到容納所述微機電開關器件的封閉集成電路器件封裝；

在瞬態過電壓狀態期間使用電耦合所述微機電開關器件的固態箝位電路，抑制或壓制所述信號對所述微機電開關器件的損壞，所述固態箝位電路包括為所述集成電路器件封裝的一部分；以及

使用第一集成二極管器件和第二集成二極管器件的互補分支的串聯布置補償包括作為固態箝位電路的一部分的二極管的非線性電容電壓關系，其中同一分支中的所述第一集成二極管器件和第二集成二極管器件具有互補電容電壓關系，所述第一集成二極管器件和第二集成二極管器件分別包括橫向分開的陽極區域和陰極區域；

其中使用控制電路控制所述微機電開關器件的狀態，所述控制電路被構造為接收邏輯電平信號，并提供控制信號以響應于接收的邏輯電平信號來靜電啟動所述微機電開關器件，所述控制電路包括為所述集成電路器件封裝的一部分。