[發明專利]一種提高冷陰極封裝器件高壓工作穩定性的排氣方法

有效

• 申請號: 201710839735.7
• 申請日: 2017-09-14
• 公開（公告）號: CN107633989B
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 柯彥淋;陳軍;許寧生;鄧少芝
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385;H01J9/42
• 代理公司: 廣州新諾專利商標事務所有限公司 44100
• 代理人: 林玉芳

1.一種提高真空封裝的冷陰極器件在高壓下工作穩定性的排氣方法，通過安裝在已封裝冷陰極真空器件上的排氣管，將已封裝冷陰極真空器件接入高真空排氣系統，將高真空排氣系統抽至高真空狀態并烘烤冷陰極真空器件，用真空計監控與冷陰極真空器件連通的高真空排氣裝置的真空腔體的真空度，其特征在于還包括以下步驟：

（1）當真空腔體的真空度達到預設高值時，關閉連接真空腔體的抽真空閥門，充入絕緣性氣體，至真空腔體真空度達預設低值，停止通氣并保持設定時間，所述絕緣性氣體充入氣壓為0~230Psi，充入氣體流量0~10000sccm；

（2）打開抽氣閥門，將真空腔體真空度抽至預設高值；

（3）重復步驟（1）及步驟（2），反復循環一次以上；

（4）在上述排氣過程中，當真空腔體的真空度達到預設高值時先對冷陰極真空器件進行動態高壓驅動以對冷陰極進行老化和激活處理，然后再充入絕緣性氣體；

待真空腔體的真空度抽至冷陰極真空器件封裝所需的真空度，融封封離排氣管完成冷陰極真空器件的真空封裝。

2.如權利要求1所述的排氣方法，其特征在于：所述冷陰極真空器件的形狀包括平板、管形或球形，該冷陰極真空器件的材質包括玻璃、陶瓷或金屬。

3.如權利要求1所述的排氣方法，其特征在于：所述烘烤的溫度范圍為100- 700攝氏度。

4.如權利要求1~3任一權利要求所述的排氣方法，其特征在于：所述動態高壓驅動是指對冷陰極真空器件施加直流或脈沖電壓，電壓范圍在-10kV ~+10kV。

5.如權利要求4所述的排氣方法，其特征在于：所述動態高壓驅動單次處理的時間范圍為0~10小時，處理次數為一次或以上。

6.如權利要求1所述的排氣方法，其特征在于：所述真空腔體的真空度預設高值是1×10^-6Pa ~3×10^-5Pa，真空腔體真空度達預設低值為1×10²Pa ~1×10⁵Pa。

7.如權利要求1所述的排氣方法，其特征在于：所述絕緣性氣體是高壓絕緣介質，包括六氟化硫、氮氣或四氟化碳。

8.如權利要求1所述的排氣方法，其特征在于：所述封裝方式為電熱封離、火頭熱融封或擠壓夾封法封離。

9.一種實施權利要求1所述排氣方法的高真空排氣系統，包括帶排氣管的已封裝冷陰極真空器件，其特征在于：還包括高溫烘烤箱、真空腔體、動態高壓驅動裝置、高真空泵組、絕緣性氣體通氣閥門及流量控制器；所述高溫烘烤箱設于真空腔體上，其內設有加熱組件以及用于固定已封裝冷陰極真空器件的支架；所述真空腔體上設有用于檢測真空腔體內真空度的真空計并在與真空計相對的位置開設通孔，所述排氣管自通孔伸入真空腔體內；所述高真空泵組用于對真空腔體抽真空，其通過抽氣管與真空腔體連接，該抽氣管上設有抽真空閥門；所述絕緣性氣體通氣閥門及流量控制器通過通氣管道與真空腔體連接，該通氣管道上設有通氣閥門及用于控制緣性氣體流量的流量控制器；所述動態高壓驅動裝置用于對已封裝冷陰極真空器件施加高壓驅動電壓，其與已封裝冷陰極真空器件電連接；所述排氣管上設有用于封離排氣管的封離機構。