[發明專利]一種基板托盤的支撐部在審
| 申請號： | 201710836345.4 | 申請日： | 2017-09-16 |
| 公開（公告）號： | CN107765458A | 公開（公告）日： | 2018-03-06 |
| 發明（設計）人： | 白航空 | 申請（專利權）人： | 合肥惠科金揚科技有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 托盤 支撐 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板托盤的支撐部，其特征在于，置于托盤本體中，其位于承載槽下方，支撐部上設置有氣囊，氣囊在支撐部上陣列式排布；支撐部上設置有貫通承載槽和支撐部底面的通孔。
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