[發(fā)明專利]基板承載裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710833217.4
• 申請(qǐng)日: 2017-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN107505740B
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 房偉華;肖亮;張勛澤;蔡登剛;段龍龍;王健;常浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/13
• 分類號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發(fā)明涉及一種基板承載裝置，包括承載框架，所述承載框架的四周設(shè)置有多個(gè)基板押元，所述基板押元上設(shè)置絕緣支撐件，所述支撐件包括對(duì)應(yīng)于基板的表面的第一部分和對(duì)應(yīng)于基板側(cè)面的第二部分，所述基板押元包括對(duì)應(yīng)于基板表面的第一區(qū)域和對(duì)應(yīng)于基板側(cè)面的第二區(qū)域，所述第一部分嵌入所述第一區(qū)域設(shè)置，所述第二部分固定連接于所述第二區(qū)域。本發(fā)明的有益效果是：支撐件的第一部分與基板押元的第一區(qū)域嵌入式安裝，消除了支撐件與基板押元之間的安裝縫隙，降低了基板插入到該縫隙中造成的破片的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板承載裝置。

背景技術(shù)

薄膜沉積技術(shù)在機(jī)械、電子、半導(dǎo)體等多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。目前，PVD(物理氣相沉積)設(shè)備普遍采用立式結(jié)構(gòu)，承載玻璃基板的承載裝置包括：對(duì)盒連接的內(nèi)框架和外框架，所述外框架的四周設(shè)有多個(gè)基板押元，所述基板押元上設(shè)有用于支撐玻璃基板的支撐件，所述內(nèi)框架上有用于支撐玻璃基板的支撐柱，其中基板押元接地(為零電位)與陰極形成電勢差，利于靶材原子濺射到玻璃基板上，從而利于成膜的作用。相應(yīng)的玻璃基板裝載過程如下：載盤處于水平狀態(tài)時(shí)，將內(nèi)、外框架分離，載入玻璃基板，然后經(jīng)對(duì)位，內(nèi)、外框架合并，通過所述支撐柱和所述支撐件支撐固定玻璃基板，完成玻璃基板裝載(卸載過程與之相反)；這之后，載有玻璃基板的承載裝置通過由馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的輪子帶動(dòng)穿梭于各腔室之間，出于成本和空間的考慮，輪子的設(shè)置并非連續(xù)，因此承載裝置在搬送過程中難免會(huì)有顛簸，這也為玻璃基板插入支撐件和基板押元間的縫隙從而造成破片埋下了隱患。

具體的，現(xiàn)有技術(shù)的基板承載裝置存在問題如下：

第一，基板押元2與基板表面相對(duì)應(yīng)的第一區(qū)域具有與支撐件1接觸的平面結(jié)構(gòu)，支撐件1與基板押元2的第一區(qū)域?qū)?yīng)連接的一側(cè)有一個(gè)凸臺(tái)3，即支撐件1安裝在基板押元2上之后，支撐件1與基板押元2之間存在間隙3，如圖1所示，加之玻璃基板不斷的減薄，使得玻璃基板插入基板押元2和支撐件1之間縫隙3的情況時(shí)有發(fā)生，這將導(dǎo)致玻璃基板在卸載時(shí)，隨著載盤內(nèi)外框架的分離而被拉碎；

第二，支撐件與玻璃基板表面相接觸的部分為與玻璃基板表面相平行的平面，在搬送過程中，支撐件和玻璃基板之間會(huì)產(chǎn)生摩擦，且隨著使用時(shí)間的延長，摩擦情況有所加重，對(duì)基板造成一定的損傷，且這一情況會(huì)導(dǎo)致在對(duì)基板的取向膜進(jìn)行摩擦取向的摩擦工藝中，由于壓入量的問題造成高級(jí)超維場轉(zhuǎn)化技術(shù)(Advanced Super Di GmensionSwitch,簡稱ADS)產(chǎn)品水平黑線等不良。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種基板承載裝置，有效降低破片風(fēng)險(xiǎn)。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種基板承載裝置，包括承載框架，所述承載框架的四周設(shè)置有多個(gè)基板押元，所述基板押元上設(shè)置絕緣支撐件，所述支撐件包括對(duì)應(yīng)于基板的表面的第一部分和對(duì)應(yīng)于基板側(cè)面的第二部分，所述基板押元包括對(duì)應(yīng)于基板表面的第一區(qū)域和對(duì)應(yīng)于基板側(cè)面的第二區(qū)域，所述第一部分嵌入所述第一區(qū)域設(shè)置，所述第二部分固定連接于所述第二區(qū)域。

進(jìn)一步的，所述第一區(qū)域上對(duì)應(yīng)于所述支撐件的位置設(shè)有凹槽，所述第一部分嵌入所述凹槽內(nèi)，且所述第一部分遠(yuǎn)離所述第一區(qū)域的一面位于所述凹槽的外部。

進(jìn)一步的，所述第一部分和所述第一區(qū)域之間設(shè)置凸臺(tái)，所述凸臺(tái)在所述第一部分靠近所述第一區(qū)域的一面上的垂直投影面積小于所述第一部分靠近所述第一區(qū)域的一面的面積。

進(jìn)一步的，所述凸臺(tái)包括設(shè)置在所述凹槽的底部的雙層臺(tái)階，所述雙層臺(tái)階包括第一級(jí)臺(tái)階和第二級(jí)臺(tái)階，所述第一級(jí)臺(tái)階靠近所述承載框架的中心區(qū)域設(shè)置，所述第二級(jí)臺(tái)階與所述第一部分相接觸。

進(jìn)一步的，所述凹槽靠近所述承載框架中心區(qū)域的一側(cè)開口。

進(jìn)一步的，所述第一部分遠(yuǎn)離所述第一區(qū)域的一面為斜面結(jié)構(gòu)，該斜面結(jié)構(gòu)由與所述第二部分的連接的第一側(cè)至與所述第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)、向靠近所述第一區(qū)域的方向傾斜設(shè)置。