[發(fā)明專利]一種二自由度微納定位平臺及應用有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710832950.4 | 申請日： | 2017-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN107547004B | 公開（公告）日： | 2018-12-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 閆鵬;汪越 | 申請（專利權）人： | 山東大學 |
| 主分類號： | H02N2/00 | 分類號： | H02N2/00;H02N2/04;H02N2/10;H02N2/12 |
| 代理公司： | 濟南圣達知識產(chǎn)權代理有限公司 37221 | 代理人： | 任歡 |
| 地址： | 250061 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 自由度 定位 平臺 應用 | ||
1.一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，包括：
粘滑驅動器，包括框體，框體內設置扭轉單元，扭轉單元包括粘滑圓軸，粘滑圓軸兩側通過扭轉件與框體連接，粘滑圓軸另兩側分別連接到一扭轉支架，每一扭轉支架一側設置帶調壓件的致動單元，另一側設置粘滑壓電疊堆，兩處粘滑壓電疊堆對角設置，圍繞粘滑圓軸設有摩擦單元；
直動式驅動器，設于摩擦單元的頂部；
所述直動式驅動器包括垂直柔性鉸鏈，垂直柔性鉸鏈設于圓環(huán)內，圓環(huán)上部設置豎直端蓋，豎直端蓋內設有與垂直柔性鉸鏈接觸的豎直壓電疊堆。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，所述豎直端蓋內部中空，豎直端蓋頂部設置工作平臺。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，所述摩擦單元包括粘滑圓臺，粘滑圓臺開有帶滑槽的粘滑圓孔，粘滑圓臺設有與滑槽相通的圓孔，在圓孔內設有帶粘滑預緊彈簧的粘滑預緊件；
進一步地，在粘滑圓孔內表面鍍有金剛石薄膜。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，所述調壓件為調壓彈簧，彈簧套于穿過所述框體設置的彈簧預緊件。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，所述粘滑壓電疊堆端部與穿過所述框體設置的疊堆預緊件接觸。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，所述扭轉件為粘滑柔性鉸鏈，粘滑柔性鉸鏈與所述的框體固定；
所述粘滑柔性鉸鏈與穿過所述框體設置的鉸鏈預緊件接觸。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，所述框體中部設置撐塊，撐塊中部設置方形孔，所述的粘滑圓軸設于方形孔內，撐塊與扭轉支架為一體結構；
進一步地，在粘滑圓軸表面鍍有金剛石薄膜，在粘滑圓軸表面利用離子刻蝕方法加工出微凸起。
8.根據(jù)權利要求1所述的一種二自由度微納定位平臺，其特征在于，所述粘滑壓電疊堆一端部設置調壓半球以與扭轉支架接觸，另一端設置調節(jié)塊。
9.一種根據(jù)權利要求1-8中任一項所述的一種二自由度微納定位平臺的應用，其特征在于，應用于掃描探針顯微鏡的掃描運動、精密光學軌跡跟蹤檢測、微納制造和裝配的空間定位。
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