[發(fā)明專利]加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710831343.6
• 申請(qǐng)日: 2017-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN107887299B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 關(guān)家一馬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供一種加工裝置，在多個(gè)裝置之間對(duì)裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收而不會(huì)引起信息泄露。對(duì)被加工物(W)進(jìn)行加工的加工裝置(10)構(gòu)成為具有：卡盤工作臺(tái)(12)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；加工單元，其對(duì)保持在卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工；控制單元(15)，其對(duì)卡盤工作臺(tái)和加工單元進(jìn)行控制；輸入單元(14)，其對(duì)控制單元輸入加工條件；存儲(chǔ)部(16)，其對(duì)輸入單元所輸入的加工條件進(jìn)行存儲(chǔ)；以及紅外線發(fā)送接收單元(21)，其通過紅外線在與其他加工裝置之間對(duì)裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)被加工物進(jìn)行加工的加工裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件及電子部件的制造工藝中，通過磨削裝置將半導(dǎo)體晶片或陶瓷基板等板狀的被加工物薄化至規(guī)定的厚度，然后通過切削裝置或激光加工裝置等分割成各個(gè)器件芯片。這些加工裝置被設(shè)置在工廠等中，但很多時(shí)候在工廠內(nèi)的同一樓層中排列有多個(gè)加工裝置，各加工裝置根據(jù)操作人員所輸入的加工條件而運(yùn)轉(zhuǎn)。如果加工裝置的臺(tái)數(shù)變多，則操作人員的輸入負(fù)擔(dān)增加，因此提出了通過在多個(gè)加工裝置之間對(duì)加工條件進(jìn)行發(fā)送接收而使相同的加工條件在裝置之間同步的加工裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2014-235443號(hào)公報(bào)

但是，在通過Wi-Fi(Wireless?Fidelity：無線保真)或Bluetooth(注冊(cè)商標(biāo))等無線通信方式使多個(gè)加工裝置進(jìn)行通信的情況下，存在加工條件等裝置信息泄露到屋外的擔(dān)心。另一方面，在通過使用了纜線等的有線通信對(duì)多個(gè)加工裝置之間進(jìn)行連接的方式中，存在加工裝置的增設(shè)及布局的變更變得困難并且纜線會(huì)影響美觀的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于該點(diǎn)而完成的，其目的之一在于，提供加工裝置，其能夠在多個(gè)裝置之間對(duì)裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收而不引起信息泄露。

根據(jù)本發(fā)明，提供加工裝置，其具有：卡盤工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行保持；加工單元，其對(duì)保持在該卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工；控制單元，其至少對(duì)該卡盤工作臺(tái)和該加工單元進(jìn)行控制；輸入單元，其對(duì)該控制單元輸入并設(shè)定加工條件；存儲(chǔ)部，其對(duì)包含該加工條件在內(nèi)的裝置信息進(jìn)行存儲(chǔ)；以及紅外線發(fā)送接收單元，其包含發(fā)送部和接收部，該發(fā)送部利用紅外線對(duì)該裝置信息進(jìn)行發(fā)送，該接收部對(duì)從其他加工裝置利用紅外線發(fā)送的該裝置信息進(jìn)行接收，通過該紅外線發(fā)送接收單元在加工裝置之間對(duì)該裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在多個(gè)加工裝置之間自動(dòng)地對(duì)裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收，所以能夠減輕操作人員輸入裝置信息的負(fù)擔(dān)。此時(shí)，由于在多個(gè)加工裝置之間進(jìn)行紅外線通信，所以在通信時(shí)加工裝置的裝置信息不會(huì)泄露到屋外。并且，由于在多個(gè)加工裝置之間不需要配線，所以加工裝置的增設(shè)及布局的變更變得容易，并且不會(huì)因纜線而影響美觀。這樣，能夠使裝置信息在多個(gè)加工裝置之間同步裝置信息而不會(huì)引起信息泄露。

并且，在本發(fā)明的一個(gè)方式的加工裝置中，在相鄰的加工裝置之間進(jìn)行轉(zhuǎn)發(fā)而在多個(gè)該加工裝置之間對(duì)該裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收。

根據(jù)本發(fā)明，在多個(gè)加工裝置之間通過紅外線通信對(duì)裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收，由此，能夠在多個(gè)裝置之間對(duì)裝置信息進(jìn)行發(fā)送接收而不會(huì)引起信息泄露。

附圖說明

圖1是本實(shí)施方式的加工裝置的立體圖。

圖2的(A)和(B)是示出比較例的加工裝置的配置例的示意性俯視圖。

圖3是示出本實(shí)施方式的紅外線發(fā)送接收單元的一例的示意性立體圖。

圖4是示出本實(shí)施方式的紅外線通信的一例的示意圖。

圖5是示出本實(shí)施方式的紅外線信號(hào)的數(shù)據(jù)構(gòu)造的一例的圖。

圖6是示出本實(shí)施方式的通信過程的序列圖的一例的圖。

圖7的(A)、(B)、(C)、(D)和(E)是示出本實(shí)施方式的通信中的紅外線信號(hào)的一例的圖。