[發明專利]一種含有振蕩線圈的鈣鈦礦太陽能電池及制備方法

在審

• 申請號: 201710830089.8
• 申請日: 2017-09-15
• 公開（公告）號: CN107644938A
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 戚明海
• 申請（專利權）人: 戚明海
• 主分類號: H01L51/42
• 分類號: H01L51/42;H01L51/44;H01L51/46;H01L51/48
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種含有振蕩線圈的鈣鈦礦太陽能電池，包括：透明導電電極（1）、電子傳輸層（2）、鈣鈦礦結構吸光層（3）、空穴傳輸層（4）和正電極（5），其特征在于：在鈣鈦礦結構吸光層（3）和電子傳輸層（2）之間形成有振蕩線圈（6）。

2.根據權利要求1所述的鈣鈦礦太陽能電池，其特征在于，振蕩線圈由兩層熱應變系數不同的材料構成。

3.根據權利要求2所述的鈣鈦礦太陽能電池，其特征在于，振蕩線圈第一層材料可為Si，第二層材料可為SiO₂。

4.根據權利要求2所述的鈣鈦礦太陽能電池，其特征在于，在振蕩線圈中，其螺旋線的橫截面積是可變的。

5.一種含有振蕩線圈的鈣鈦礦太陽能電池的制備方法，其特征在于：

1)在透明導電電極上采用水熱法或原子層沉積或旋涂工藝制備電子傳輸層；

2)在電子傳輸層上依次形成Si和SiO₂層；

3)通過干法蝕刻Si和SiO₂層形成螺旋線結構，以形成振蕩線圈；

4)采用旋涂工藝在振蕩線圈上制備鈣鈦礦結構吸光層；

5)在吸光層上依次形成空穴傳輸層和正電極。

6.根據權利要求5所述的鈣鈦礦太陽能電池的制造方法，其特征在于，在干法蝕刻之前，使用透光率逐漸變化的光刻掩模板進行曝光處理形成光刻膠掩膜，之后以所述的光刻膠掩膜為蝕刻掩膜進行干法刻蝕。