[發(fā)明專利]一種太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710828346.4
• 申請(qǐng)日: 2017-09-14
• 公開（公告）號(hào): CN107481952A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫朋超;莫品光;劉杰鵬;朱家寬;高錦龍;鐘華良;蔣沈澤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 旭科新能源股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;G01N21/88
• 代理公司: 杭州九洲專利事務(wù)所有限公司33101
• 代理人: 翁霽明

1.一種太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，所述的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)包括：送料裝置、檢測(cè)裝置、標(biāo)記裝置，其特征在于：

所述的送料裝置用于輸運(yùn)定位待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品；包含輸送單元和定位單元，所述的輸送單元用于輸運(yùn)和卸載待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品；所述的定位單元用于跟蹤定位待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品的位置；

所述的檢測(cè)裝置用于抓取捕獲并處理待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品；包括：一用于固定待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品、減少抖動(dòng)造成的識(shí)別誤差的固定單元；一用于采集待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品圖像的圖像采集單元；一用于圖像采集時(shí)補(bǔ)充亮度、提高圖像清晰度及識(shí)別精度的照明單元；所述的圖像處理單元將獲取的掃描圖像進(jìn)行拼接并進(jìn)行預(yù)處理，去除雜散光或其他雜點(diǎn)的影響；一數(shù)據(jù)處理單元通過(guò)數(shù)字圖像處理技術(shù)比較已經(jīng)完成圖像處理的P1/P2/P3線的圖像，計(jì)算出每條線的位置信息，與數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)比，判斷3條線的趨勢(shì)；一數(shù)據(jù)輸出單元用于根據(jù)數(shù)據(jù)處理單元給出的數(shù)據(jù)輸出檢測(cè)結(jié)果；

所述的標(biāo)記裝置用于根據(jù)所述處理結(jié)果在所述位置進(jìn)行標(biāo)記；它包含有打標(biāo)單元，且打標(biāo)單元與檢測(cè)裝置固定在一起。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)還包含有由X軸單元及Y軸運(yùn)動(dòng)單元構(gòu)成的運(yùn)動(dòng)裝置，所述的檢測(cè)裝置及標(biāo)記裝置被固定于X軸單元的X軸上，且可沿X軸方向運(yùn)動(dòng)；所述的檢測(cè)裝置及標(biāo)記裝置在X-Y方向的平移運(yùn)動(dòng)是通過(guò)X-Y軸的平移來(lái)保證；

待檢測(cè)太陽(yáng)能電池激光劃刻線樣品進(jìn)入檢測(cè)系統(tǒng)先由固定單元進(jìn)行固定，然后由圖像采集單元進(jìn)行拍照錄取圖像；所述的圖像采集單元由面陣相機(jī)及相機(jī)鏡頭組成；圖像采集單元錄取的圖像會(huì)輸入至電腦端進(jìn)行圖像處理、數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)輸出。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述圖像采集單元的面陣相機(jī)、相機(jī)鏡頭與LED光源及激光打標(biāo)裝置均固定在同一塊掛板上，且掛板固定在一線性導(dǎo)軌X軸上；線性導(dǎo)軌X軸在y軸方向的移動(dòng)是通過(guò)線性導(dǎo)軌Y軸完成，從而保證面陣相機(jī)及激光打標(biāo)裝置在X-Y方向的平移；所述的檢測(cè)裝置和標(biāo)記裝置配置有將檢測(cè)裝置及標(biāo)記裝置罩住、用于遮擋外來(lái)光影響的防塵罩；所述的固定單元是一種吸附面板或平壓機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于所述的圖像采集單元為一CCD系統(tǒng)，包含高速面陣相機(jī)或線掃相機(jī)及鏡頭；所述照明單元為高亮度LED光源；打標(biāo)單元是一種激光打標(biāo)裝置或噴碼打標(biāo)裝置。

5.一種利用權(quán)利要求1或2或3或4所述缺陷檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于所述缺陷檢測(cè)方法包含如下步驟：

a：輸運(yùn)單元輸送待檢測(cè)樣品；

b：待檢測(cè)樣品到位之后，固定單元固定住待檢測(cè)樣品；

c：照明單元開啟照明；

d：圖像采集單元對(duì)待檢測(cè)樣品進(jìn)行掃描取圖；

e：圖像處理單元將獲取的掃描圖像進(jìn)行預(yù)處理，去除雜散光或其他雜點(diǎn)的影響；

f：數(shù)據(jù)處理單元根據(jù)比較P1/P2/P3線的位置信息，與數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)比，判斷3條線的趨勢(shì)；

g：數(shù)據(jù)輸出單元將不合格的線的位置坐標(biāo)輸出給打標(biāo)裝置；

h：打標(biāo)單元在不合格的線的位置進(jìn)行打標(biāo)標(biāo)記；

i：完成檢測(cè)，輸運(yùn)單元將待檢測(cè)樣品運(yùn)離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽(yáng)能電池激光劃刻線的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于：在進(jìn)行圖像采集之前需要首先對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行校正；數(shù)據(jù)輸出單元所輸出的位置坐標(biāo)僅需為Y軸坐標(biāo)。