[發(fā)明專利]一種基于半頻靜電激振的高頻體模態(tài)諧振器測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710827926.1
• 申請(qǐng)日: 2017-09-14
• 公開（公告）號(hào): CN107703437B
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋學(xué)勇;王曙東;蔣莊德;趙玉龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種基于半頻靜電激振的高頻體模態(tài)諧振器測(cè)試方法，其特征在于：包括開環(huán)測(cè)試方法和閉環(huán)測(cè)試方法，開環(huán)測(cè)試方法適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中高頻體模態(tài)諧振器的標(biāo)定測(cè)試；閉環(huán)測(cè)試方法適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)中高頻體模態(tài)諧振器的實(shí)際應(yīng)用；

所述的開環(huán)測(cè)試方法，包括以下步驟：矢量網(wǎng)格分析儀(10-1)的A端口輸出交變正弦電流ω，通過比較器(10-2)，正弦電流變?yōu)楦唠娖?.3V、低電平0.3V的同頻方波，然后經(jīng)變頻電路(10-3)將該信號(hào)調(diào)制為半頻信號(hào)ω/2，與直流偏置電壓一起通入諧振器的硅微諧振子(1)激振端，當(dāng)交變正弦電流ω的頻率與硅微諧振子(1)的固有頻率ω₀相同時(shí)，硅微諧振子(1)與半頻激振信號(hào)產(chǎn)生共振，且振動(dòng)頻率為其固有頻率ω₀；硅微諧振子(1)的振動(dòng)產(chǎn)生了頻率也為ω₀的動(dòng)態(tài)電流，在硅微諧振子(1)的拾振端檢測(cè)到該動(dòng)態(tài)電流，經(jīng)放大器(10-4)放大、高通濾波器(10-5)去除饋穿電流后，輸入矢量網(wǎng)格分析儀(10-1)的B端口進(jìn)行檢測(cè)分析；

所述的閉環(huán)測(cè)試方法，包括以下步驟：在振蕩電路工作時(shí)，放大器(11-1)將饋穿電流ω₀/2和動(dòng)態(tài)電流ω₀同時(shí)放大，高通濾波器(11-2)的截止頻率略小于ω₀，以此濾除了饋穿電流ω₀/2；移相器(11-3)調(diào)整反饋電流的相位，提供自激振蕩的必要條件，比較器(11-4)將反饋電流變?yōu)榉讲ǎ斎胫磷冾l電路(11-5)進(jìn)行分頻，再通過幅值調(diào)節(jié)電路(11-6)調(diào)節(jié)反饋電流大小，最終半頻的反饋電流激振諧振器的硅微諧振子(1)，整個(gè)電路形成了穩(wěn)定的自激振蕩后，振蕩器的頻率通過頻率計(jì)數(shù)器(11-7)讀取。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于半頻靜電激振的高頻體模態(tài)諧振器測(cè)試方法，其特征在于：能夠針對(duì)高頻體模態(tài)諧振器進(jìn)行測(cè)試，也能夠針對(duì)低頻諧振器進(jìn)行測(cè)試，高頻體模態(tài)諧振器包括圓盤式硅微諧振器和方盤式硅微諧振器，低頻諧振器包括梁式硅微諧振器或音叉式硅微諧振器。