[發明專利]同軸探針卡裝置

有效

• 申請號: 201710827394.1
• 申請日: 2017-09-14
• 公開（公告）號: CN107894521B
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 蔡錦溢;余陳志;黃翊嘉;蘇正年;林忠麒
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;李巖

一種同軸探針卡裝置，包含一基板、多個探針座與多個探針。基板具有一穿孔，多個探針座設置于基板上且以基板的穿孔為中心而環繞穿孔呈輻射狀配置。各探針座具有一探針槽，探針槽相對于基板的表面傾斜且朝基板的穿孔的方向延伸，各探針個別設置于各探針座的探針槽中。

技術領域

本發明是關于一種探針卡裝置，特別是一種應用于集成電路測試的同軸探針卡裝置。

背景技術

近年來，集成電路(integrated circuit)的應用已逐漸普及，在集成電路制作完成后，為了能篩選出不良品，通常會通過測試裝置將測試信號傳送至集成電路來測試其功能是否符合預期，以控管集成電路的出廠良率。于此，習知的測試技術可藉由探針裝置直接與待測集成電路上的焊墊或是輸出入墊(I/O pad) 直接接觸，藉由測試裝置經探針發送測試信號至集成電路進行檢測，再由探針將測試結果回送至測試裝置進行分析。在各種用來測試集成電路的探針結構中，又以同軸探針最適合用于需要以高頻信號進行測試的集成電路。

發明內容

本發明所提出的一種同軸探針卡裝置主要包含基板、第一弧型探針座、第二弧型探針座、第一探針群組及第二探針群組。基板具有一穿孔，第一弧形探針座具有第一內弧面與相對于第一內弧面的第一外弧面，第一內弧面與第一外弧面自第一弧型探針座的一端延伸至另一端，第一弧型探針座以其一端固設于基板上且位于穿孔的一側，并以第一內弧面朝向穿孔。第二弧型探針座具有第二內弧面與相對于第二內弧面的第二外弧面，第二內弧面與第二外弧面自第二弧型探針座的一端延伸至另一端，第二弧型探針座以其一端固設于基板上且位于穿孔的另一側而與第一弧型探針座相對，并以第二內弧面朝向穿孔。第一探針群組包含多個第一探針，設置于第一弧型探針座，各第一探針自第一外弧面穿過第一內弧面而延伸至基板的穿孔。第二探針群組包含多個第二探針，設置于第二弧型探針座，各第二探針自第二外弧面穿過第二內弧面而延伸至基板的穿孔。

本發明還提出另一種同軸探針卡裝置，其主要包含基板、多個探針座與多個探針。基板具有一穿孔，多個探針座設置于基板上且以基板的穿孔為中心而環繞穿孔呈輻射狀配置。各探針座具有一探針槽，探針槽相對于基板的表面傾斜且朝基板的穿孔的方向延伸，各探針個別設置于各探針座的探針槽中。

在一實施例中，各探針分別包含探針本體及探測件，探針本體具有第一區段及第二區段，探針本體的第一區段固定于探針座，探測件固定于探針本體的第二區段，探針本體的第一區段與第二區段之間具有彎折角，多個探針中至少兩個探針的彎折角不同。同軸探針卡裝置更包含限位組件穿套固定于多個探針的探針本體，限位組件包含穿置部，多個探針的探針本體的第二區段穿置于穿置部內，探測件穿出穿置部，而穿置部內與探針本體之間設置黏膠以固定結合探針本體及限位組件。

附圖說明

圖1為本發明第一實施例的立體示意圖。

圖2為本發明第一實施例的俯視示意圖。

圖3為本發明第一實施例的前視示意圖。

圖4為本發明第一實施例的側視示意圖。

圖5為本發明第二實施例的立體示意圖。

圖6為本發明第二實施例的俯視示意圖。

圖7為本發明第二實施例的前視示意圖。

圖8為本發明第二實施例的側視示意圖。

圖9為同軸探針卡裝置的同軸探針結構的第一范例的立體示意圖(一)。

圖10為同軸探針卡裝置的同軸探針結構的第一范例的立體示意圖(二)。

圖11為同軸探針卡裝置的同軸探針結構的第一范例的探針本體的端面的放大圖。

圖12為同軸探針卡裝置的同軸探針結構的第二范例的立體示意圖(一)。