[發(fā)明專利]涂敷裝置和涂敷方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710826731.5 | 申請日： | 2017-09-14 |
| 公開（公告）號： | CN107824392A | 公開（公告）日： | 2018-03-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 安陪裕滋 | 申請（專利權）人： | 株式會社斯庫林集團 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05C13/00 |
| 代理公司： | 隆天知識產(chǎn)權代理有限公司72003 | 代理人： | 向勇,崔炳哲 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 方法 | ||
1.一種涂敷裝置，其特征在于，
具有：
浮起部，以使基板的主面朝向上方的狀態(tài)，使所述基板浮起；
搬運部，將由所述浮起部浮起的所述基板，以基板搬運速度沿規(guī)定的搬運方向搬運；
噴嘴，向由所述搬運部搬運的所述基板的主面噴出涂敷液，來進行涂敷；以及，
移動部，使正在噴出所述涂敷液的所述噴嘴，以小于所述基板搬運速度的噴嘴移動速度，沿所述搬運方向移動。
2.根據(jù)權利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于，
所述浮起部具有：
精密浮起部，
上游浮起部，在所述搬運方向的上游側，與所述精密浮起部相鄰設置，
下游浮起部，在所述搬運方向的下游側，與所述精密浮起部相鄰設置；
利用所述上游浮起部和所述下游浮起部浮起所述基板的浮起精度，小于利用所述精密浮起部浮起所述基板的浮起精度；
所述移動部一邊使所述噴嘴與所述精密浮起部相向，一邊使所述噴嘴移動。
3.根據(jù)權利要求2所述的涂敷裝置，其特征在于，
所述移動部一邊使所述噴嘴在所述搬運方向上與所述精密浮起部的中央部相向，一邊使所述噴嘴移動。
4.一種涂敷方法，一邊在使基板以其主面朝向上方來浮起的狀態(tài)下，以規(guī)定的基板搬運速度沿搬運方向搬運所述基板，一邊向所述基板的主面涂敷涂敷液，該涂敷方法的特征在于，
一邊從噴嘴向所述基板的主面噴出所述涂敷液，一邊使所述噴嘴以小于所述基板搬運速度的噴嘴移動速度，沿所述搬運方向移動。
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