[發(fā)明專利]一種精密定位工作臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710822444.7
• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號: CN107479336A
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王振華;鐘博文;孫立寧
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州邁客榮自動化技術(shù)有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B25H1/18
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)32257
• 代理人: 馮瑞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于機械工作臺技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種精密定位工作臺。

背景技術(shù)

納米器件可廣泛應(yīng)用于電子學(xué)、光學(xué)、微機械裝置、新型計算機等，是當(dāng)今新材料與新器件研究領(lǐng)域中最富有活力的研究領(lǐng)域，也是元器件小型化、智能化、高集成化等的主流發(fā)展方向。納米壓印光刻技術(shù)是一種全新的納米圖形復(fù)制方法，其優(yōu)勢十分明顯，具有強大競爭力，從根本上展示了納米器件生產(chǎn)的廣闊前景，因此在2003年底被國際半導(dǎo)體藍圖機構(gòu)規(guī)劃為下一代32納米節(jié)點光刻工藝的關(guān)鍵技術(shù)。

現(xiàn)有技術(shù)的工作臺在工作過程中震動幅度較大，嚴(yán)重影響了工作臺定位加工的精度，工作臺的平行度難以調(diào)節(jié)，手動找平比較繁瑣，存在人為因素，影響生產(chǎn)加工質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種精密定位工作臺，不僅結(jié)構(gòu)合理，無需人工調(diào)整水平度，提高生產(chǎn)加工效率，而且起到防滑的效果，提高其加工的精確度。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是：一種精密定位工作臺，包括底座、滑動座和平臺，所述平臺為位于所述滑動座的上方，所述滑動座位于所述底座上方，將產(chǎn)品輸送的方向定義為前方，所述滑動座設(shè)有驅(qū)動所述滑動座前后移動的移動驅(qū)動機構(gòu)，所述平臺的下方設(shè)有支撐機構(gòu)；

所述移動驅(qū)動機構(gòu)包括擋板、絲桿和驅(qū)動電機，所述擋板固定于所述底座的后端，所述驅(qū)動電機固定于所述擋板，所述絲桿的一端與所述驅(qū)動電機的輸出軸連接，所述絲桿的另一端與所述滑動座螺紋連接；

所述支撐機構(gòu)設(shè)有四個，且所述支撐機構(gòu)對稱分布于所述平臺的四周，所述支撐機構(gòu)包括壓電陶瓷致動器和柔性支架，所述壓電陶瓷致動器固定于滑動座，所述柔性支架的一端與滑動座連接，且所述柔性支架的另一端與所述平臺連接；

所述平臺的上表面設(shè)有防滑凸起，所述防滑凸起包括中心的小凸起和若干個大凸起，所述大凸起位于所述小凸起的外圍且均勻分布。

進一步地說，所述柔性支架包括上端部、下端部和連接所述上端部和所述下端部的柔性片。

進一步地說，所述底座的上表面設(shè)有導(dǎo)軌，且所述導(dǎo)軌沿著所述底座的前后方向設(shè)置，所述滑動座的下表面設(shè)有與所述導(dǎo)軌相匹配的結(jié)構(gòu)以使所述滑動座沿著所述導(dǎo)軌的方向移動。

進一步地說，所述導(dǎo)軌的橫截面為矩形、梯形或半圓形。

進一步地說，所述滑動座具有螺孔，所述螺孔的內(nèi)表面設(shè)有與所述絲桿的外螺紋相匹配的內(nèi)螺紋。

進一步地說，所述大凸起的高度大于所述小凸起的高度。

本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明的支撐機構(gòu)設(shè)有四個，且支撐機構(gòu)對稱分布于平臺的四周，支撐機構(gòu)包括壓電陶瓷致動器和柔性支架，通過壓電陶瓷制動器調(diào)整平臺的水平度，結(jié)構(gòu)合理，減少加工過程中產(chǎn)生的振動，無需人工調(diào)整水平度，提高生產(chǎn)加工效率；

平臺的上表面設(shè)有防滑凸起，防滑凸起包括中心的小凸起和若干個大凸起，大凸起位于小凸起的外圍且均勻分布，起到防滑的效果，產(chǎn)品放于平臺中間，大凸起可防止產(chǎn)品摔落，提高平臺加工的精確度。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖中各部分標(biāo)記如下：

底座1、滑動座2、導(dǎo)軌21、平臺3、小凸起31、大凸起32、移動驅(qū)動機構(gòu)4、擋板41、絲桿42、驅(qū)動電機43、支撐機構(gòu)5、壓電陶瓷致動器51、上端部52、下端部53和柔性片54。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本發(fā)明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

實施例：一種精密定位工作臺，如圖1所示，包括底座1、滑動座2和平臺3，所述平臺3為位于所述滑動座2的上方，所述滑動座2位于所述底座1上方，將產(chǎn)品輸送的方向定義為前方，所述滑動座2設(shè)有驅(qū)動所述滑動座2前后移動的移動驅(qū)動機構(gòu)4，所述平臺3的下方設(shè)有支撐機構(gòu)5；

所述移動驅(qū)動機構(gòu)4包括擋板41、絲桿42和驅(qū)動電機43，所述擋板41固定于所述底座1的后端，所述驅(qū)動電機43固定于所述擋板41，所述絲桿42的一端與所述驅(qū)動電機43的輸出軸連接，所述絲桿42的另一端與所述滑動座2螺紋連接；

所述支撐機構(gòu)5設(shè)有四個，且所述支撐機構(gòu)5對稱分布于所述平臺3的四周，所述支撐機構(gòu)5包括壓電陶瓷致動器51和柔性支架，所述壓電陶瓷致動器51固定于滑動座2，所述柔性支架的一端與滑動座2連接，且所述柔性支架的另一端與所述平臺3連接；