[發(fā)明專利]特種氣體的配氣裝置及方法

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• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號: CN107790000A
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發(fā)明（設計）人: 粟糠榮;朱劉;徐建
• 申請（專利權）人: 清遠先導材料有限公司
• 主分類號: B01F3/02
• 分類號: B01F3/02;B01F13/00;B01F15/02;B01F15/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發(fā)明涉及特種氣體的配氣領域，尤其涉及一種特種氣體的配氣裝置及方法。

背景技術

對于半導體和電子行業(yè)需要用的特種氣體，為了維持氣體的穩(wěn)定性或為了方便使用，多使用二元或多元混合氣。這對于氣體供應商來說是一個巨大的難點。常規(guī)的配氣方式，比如標準氣的配氣，現(xiàn)有的方法，多為單瓶混氣，根據(jù)原料氣的壓力高低，以及氣體的性質(zhì)，選擇配氣順序，配氣裝置100如圖1，一原料瓶110和一目標氣瓶120通過管道140連通，目標氣瓶置于精密電子秤130上。這是配氣的常規(guī)裝置，這種配氣裝置的缺點在于：管道及接頭之間產(chǎn)生應力，嚴重影響了稱量精度，導致配比不準確；每次只能配一瓶氣，效率低下。特種氣體用量大、純度高、對濃度正負偏差要求高，這種方式并不適用于特種氣體的配氣。

工業(yè)上也用匯流排方式進行配氣，該配氣方式大大提高了配氣效率。配氣裝置200如圖2所示，一原料瓶210和多個并排的目標氣瓶220通過管道240連通，某一個目標氣瓶置于精密電子秤230上。此裝置在配氣時由于到達瓶內(nèi)的管道阻力不同，氣流量分配就會有差距，因此配的氣，其配比不一，只適用于煤氣配氣等一些對配比要求較低的領域，對于配氣要求極高的特種氣體領域，此方法也并不適用。

除此之外還有利用分歧式支管的配氣法，此法保證了通往各個瓶子的阻力一致，因此流量能達一致。但是其缺點在于，第一：管道雜亂，焊縫多，增加很多漏點因而增加了風險點；其次：配氣裝置的配套裝置均難以滿足15MPa以上的配氣要求，這很大程度上限制了這種配氣法的使用。

所以，有必要設計一種新的特種氣體的配氣裝置及方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種設計獨特的特種氣體的配氣裝置及方法。

為實現(xiàn)前述目的，本發(fā)明采用如下技術方案：一種特種氣體的配氣裝置，所述配氣裝置包括置于同一高度的N個同樣的目標氣瓶、N根金屬管、一分流圓軸，每一目標氣瓶通過一根金屬管連接在分流圓軸上，所述分流圓軸與原料瓶組通過管道連通，所述原料瓶組包括一原料瓶柜以及置于原料瓶柜內(nèi)的若干原料瓶，所述管道上設置有閥門。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述分流圓軸上開設有1/4NPT的孔，所述金屬管通過1/4NPT方式與分流圓軸連接。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述目標氣瓶上開設有1/4NPT的孔，所述金屬管通過1/4NPT方式與目標氣瓶連接。

作為本發(fā)明的進一步改進，某一所述目標氣瓶位于一電子秤之上。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述分流圓軸為實心不銹鋼棒。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述分流圓軸為實心316L不銹鋼棒。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述金屬管的外徑為1/8英寸。

同時提出一種特種氣體的配氣方法，采用上述的配氣裝置，配氣步驟如下：

S1：選擇N個潔凈的待充裝的某一規(guī)格的鋁瓶作為目標氣瓶，連接好配氣裝置，使各目標氣瓶處于同一高度，其中某一目標氣瓶置于精密電子秤之上，對配氣裝置進行檢漏，檢漏通過后對管道進行抽真空置換若干次，然后對精密電子秤清零，打開目標氣瓶的瓶閥和特種氣體原料瓶的瓶閥，直到精密電子秤的讀數(shù)為經(jīng)過計算的某一讀數(shù)時，關閉目標氣瓶的瓶閥和特種氣體原料瓶的瓶閥；

S2：將S1中的特種氣體原料瓶置換為另一種氣體的原料瓶，重復S1的其他步驟，得到特種氣體和另一種氣體的混合氣。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述S1中，在對精密電子秤清零之前，還需要往管道充入一定量的特種氣體以降低管道中氣體對稱量的影響。

作為本發(fā)明的進一步改進，所述一定量的特種氣體為0.5-2MPa的特種氣體。

本發(fā)明特種氣體的配氣裝置及方法，在現(xiàn)有配氣裝置的基礎上，進行了改造，利用1/4NPT連接方式實現(xiàn)同時多瓶特種氣體的配氣，成本低廉，達到了預期的效果。

附圖說明

圖1為常規(guī)的配氣裝置的結構示意圖。

圖2為匯流排配氣裝置的結構示意圖。

圖3為本發(fā)明特種氣體的配氣裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例對技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。