[發明專利]三軸模塊化干式真空泵

有效

• 申請號: 201710821318.X
• 申請日: 2017-09-13
• 公開（公告）號: CN107420306B8
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 榮易
• 申請（專利權）人: 上海伊萊茨真空技術有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/14;F04C29/00
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 沈棟棟

1.一種三軸模塊化干式真空泵，包括泵體，所述泵體內設置有多級泵腔，相鄰兩級泵腔之間通過隔板隔開，每級泵腔的一側設置有抽吸端口，每級泵腔的另一側設置有排出端口，相鄰前級泵腔的排出端口與相鄰后級泵腔的抽吸端口連通，每級泵腔內均設置有中泵軸、第一側泵軸和第二側泵軸三根平行的泵軸，相鄰前級泵腔的各泵軸與相鄰后級泵腔的各泵軸一一對應同軸設置并傳動連接，三根泵軸同速轉動且中泵軸與第一側泵軸和第二側泵軸轉動的方向相反，其特征在于：

每級泵腔內均設置有成對轉子，所述成對轉子容納在泵腔內并彼此相嚙合地轉動，奇數級泵腔的成對轉子分別連接在中間的泵軸和第一側泵軸上，偶數級泵腔的成對轉子分別連接在中間的泵軸和第二側泵軸上。

2.根據權利要求1所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：所述泵體的一端安裝有齒輪箱，所述齒輪箱內設置有一個主動齒輪以及兩個從動齒輪，所述主動齒輪與中泵軸連接，兩個所述從動齒輪分別與第一側泵軸和第二側泵軸連接，主動齒輪分別與兩個從動齒輪嚙合；所述泵體的另一端安裝有電機，所述電機與中泵軸傳動連接。

3.根據權利要求1或2所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：所述泵體由多級泵體單元依次串聯而成，每級泵體單元對應一級泵腔，所述隔板連接在相鄰兩泵體單元之間，相鄰前級泵腔的泵軸的一端通過軸承固定在隔板上并同軸設置有連接孔，相鄰后級的泵腔的泵軸的對應端同軸設置有連接銷，所述連接銷與連接孔間隙配合并傳動連接。

4.根據權利要求3所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：所述連接孔內設置有支撐在連接孔的孔底和連接銷的端部之間的壓縮彈性件。

5.根據權利要求4所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：所述壓縮彈性件為波形彈簧。

6.根據權利要求3所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：所述連接孔的內側設置有軸向的定位鍵，所述連接銷的上設置有與該定位鍵匹配的鍵槽，連接銷與連接孔通過定位鍵與鍵槽的配合來實現傳動。

7.根據權利要求3所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：各泵體單元和隔板的四周均設置有軸向的定位孔，所述定位孔內設置有定位銷，各泵體單元和隔板通過該定位銷定位連接。

8.根據權利要求3所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：所述軸承的兩側均設置有密封元件，所述密封元件包括迷宮密封和唇形密封，軸承的兩側均通過迷宮密封和唇形密封密封，所述隔板內設置有用于向軸承腔室通氣的氮氣平衡通道。

9.根據權利要求8所述的三軸模塊化干式真空泵，其特征在于：所述隔板上的軸孔由前級泵腔到后級泵腔的方向呈臺階形擴大，所述軸承靠近前級泵腔的一側通過迷宮密封抵緊在軸孔內的臺階上，軸承靠近相鄰后級泵腔的一側設置有鎖緊螺母和軸承蓋，所述軸承蓋將軸承、密封元件和鎖緊螺母封閉在軸孔內，軸承靠近后級泵腔的一側通過鎖緊螺母和軸承蓋鎖緊。