[發明專利]一種一維微位移臺

在審

• 申請號: 201710818066.5
• 申請日: 2017-09-12
• 公開（公告）號: CN107492398A
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 鐘博文;孫立寧;王振華;張佳新
• 申請（專利權）人: 蘇州邁客榮自動化技術有限公司
• 主分類號: G12B9/10
• 分類號: G12B9/10;G12B5/00
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 李陽

1.一種一維微位移臺，其特征在于：包括底框，所述底框內設置有移動臺，移動臺與底框之間設置有驅動裝置，所述驅動裝置包括兩組驅動器，每組驅動器包括兩個串聯的菱形陶瓷驅動器，并且其中一個菱形陶瓷驅動器的一端與底框連接，另一個菱形陶瓷驅動器的一端與移動臺連接，所述底框內還設置有微位移傳感器，所述菱形陶瓷驅動器包括兩個相對設置的第一連接部和兩個相對設置的第二連接部，所述第一連接部和第二連接部之間設置有連接臂，所述連接臂的一端通過柔性鉸鏈與第一連接部連接，連接臂的另一端通過柔性鉸鏈與所述第二連接部連接，兩個第二連接部之間設置有壓電陶瓷驅動器，所述壓電陶瓷驅動器包括安裝盒，所述安裝盒內設置有壓電陶瓷、第一驅動臂和第二驅動臂，所述壓電陶瓷包括位于壓電陶瓷頂端的連接塊，所述連接塊的頂端與第一驅動臂的右端接觸，所述第一驅動臂的右端還通過柔性鉸鏈與安裝盒連接，第一驅動臂的左端與第二驅動臂的左端接觸，所述第二驅動臂的左端還通過柔性鉸鏈與安裝盒連接，所述第二驅動臂的右端設置有輸出桿，所述輸出桿的頂端穿過安裝盒的頂壁并與第二連接部連接。

2.根據權利要求1所述的一維微位移臺，其特征在于：所述微位移傳感器為電容式微位移傳感器，微位移傳感器包括與移動臺連接的第一極板和與底框連接的第二極板。

3.根據權利要求1所述的一維微位移臺，其特征在于：所述移動臺的表面設置有連接座。

4.根據權利要求1所述的一維微位移臺，其特征在于：所述第二連接部包括安裝座，所述安裝座的表面固定設置有安裝塊，所述安裝塊與壓電陶瓷驅動器連接。

5.根據權利要求1所述的一維微位移臺，其特征在于：所述底框的底面上設置有滑軌，所述移動臺可滑動地設置于所述滑軌上。