[發(fā)明專利]軟性抗氧化銅絲的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710813496.8 | 申請(qǐng)日: | 2017-09-11 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN107546133A | 公開(kāi)(公告)日: | 2018-01-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 邵光偉 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 佛山慧創(chuàng)正元新材料科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/48 | 分類號(hào): | H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11246 | 代理人: | 連圍 |
| 地址: | 528000 廣東省佛山市禪城區(qū)*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 軟性 氧化 銅絲 制備 方法 | ||
1.軟性抗氧化銅絲的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)將電解銅10-20份、聚乙烯1-3份、聚碳酸酯1-2份、鎂粉2-4份、鎳粉1-3份、二甲基硅油2份混合,加入真空感應(yīng)熔煉爐中進(jìn)行輥煉,加熱至1300-1400℃后抽真空,爐內(nèi)保持?jǐn)嚢瑁掷m(xù)反應(yīng)2h,降溫至350℃后充入氬氣,保持壓強(qiáng)為5MPa,保溫60min;
(2)將步驟(1)的復(fù)合銅液注入鑄模中,同時(shí)急速冷卻,形成合金鑄件;
(3)將步驟(2)的合金鑄件進(jìn)行粗拔以制得直徑為3-4mm的銅絲后,對(duì)該銅絲進(jìn)行退火,退火溫度大約為450-500℃,退火時(shí)間大約為15-20分鐘,退火后進(jìn)行水冷;
(4)將步驟(3)所得粗拔銅絲浸泡在質(zhì)量百分比濃度為10%的HCl水溶液約5分鐘,然后用按質(zhì)量配比為3:1:9的Cr2O3:H2SO4:H2O的溶液浸泡3分鐘;
(5)將步驟(4)得到的銅絲用去離子水清洗三遍,自然晾干;
(6)將步驟(5)的銅絲置于拉絲機(jī)中進(jìn)行細(xì)拔拉絲,得到直徑為1-2mm的銅絲;
(7)將步驟(6)的銅絲放入筒式氫氣保護(hù)熱處理爐里在200℃,2小時(shí)的條件下進(jìn)行定型熱處理,隨爐自然冷卻,待冷卻到室溫后,關(guān)閉氫氣,即得成品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性抗氧化銅絲的制備方法,其特征在于,所述步驟(1)中的真空壓強(qiáng)為1.5*10-2-2.5*10-2Pa。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性抗氧化銅絲的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中的急速冷卻方式為液氮冷卻。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟性抗氧化銅絲的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中的水冷條件為冰水混合物。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





