[發明專利]一種基于金剛石的光電探測器件的制備方法在審
| 申請號： | 201710810314.1 | 申請日： | 2017-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN108630783A | 公開（公告）日： | 2018-10-09 |
| 發明（設計）人： | 盧英杰;林超男;單崇新;董林 | 申請（專利權）人： | 鄭州大學 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 鄭州中原專利事務所有限公司 41109 | 代理人： | 王曉麗 |
| 地址： | 450001 河南省鄭*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金剛石 光電探測器件 構建 電極 石墨 制備 光電探測器陣列 金剛石表面 激光掃描 石墨電極 光電探測器 探測器陣列 叉指電極 環形電極 激光處理 靈敏度 耐腐蝕 耐磨損 基底 激光 響應 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于金剛石的光電探測器件的制備方法，其特征在于：采用金剛石為基底，用激光將金剛石表面處理成石墨電極，構建金剛石光電探測器件。
2.如權利要求1所述的基于金剛石的光電探測器件的制備方法，其特征在于：石墨電極為叉指電極或/和環形電極。
3.如權利要求1或2所述的基于金剛石的光電探測器件的制備方法，其特征在于：在金剛石上用激光掃描直接構建光電探測器陣列或探測器陣列，光電探測器電極是由石墨形成的。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
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