[發(fā)明專利]用于測(cè)試電子部件的插座和測(cè)試點(diǎn)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710805082.0
• 申請(qǐng)日: 2017-09-08
• 公開（公告）號(hào): CN107807256B
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 克施文德特貝格爾·格哈德;彼得曼·馬努埃爾;萊克莫澤·沃爾克;斯坦尼謝夫斯基·杰拉爾德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 綜合測(cè)試電子系統(tǒng)有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04;G01R31/54
• 代理公司: 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王暉;冀婷

一種用于測(cè)試電子部件的插座，包括：多個(gè)力感測(cè)對(duì)，每個(gè)力感測(cè)對(duì)均包括力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧，其中，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧位于彼此附近，并且其中，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧中的至少一個(gè)包覆有電絕緣涂層，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧在該電絕緣涂層處彼此抵靠。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施方案涉及一種用于測(cè)試電子部件的插座以及一種包括多個(gè)測(cè)試插座的測(cè)試點(diǎn)裝置(test site arrangement)。

背景技術(shù)

在測(cè)試電子部件的后端過程中，為了達(dá)到正確的測(cè)試結(jié)果，需要電子部件的良好接觸。所謂的“開爾文接觸插座”使用電開爾文接觸來評(píng)估接觸彈簧與電子部件或所謂的DUT(“被測(cè)器件”)的末端的接觸。開爾文接觸要求接觸DUT的末端兩次。然而，在半導(dǎo)體技術(shù)的開發(fā)過程中，DUT的間距和測(cè)試點(diǎn)裝置的間距變得越來越小。

發(fā)明內(nèi)容

可能需要提供下述用于測(cè)試電子部件的插座，該插座在盡管測(cè)試點(diǎn)裝置的間距小的情況下也能評(píng)估與相應(yīng)電子部件的接觸質(zhì)量。為了滿足上述需要，提供了根據(jù)本申請(qǐng)的用于測(cè)試電子部件的插座和包括多個(gè)插座的測(cè)試點(diǎn)裝置。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方案，用于測(cè)試電子部件的插座包括：多個(gè)力感測(cè)對(duì)，每個(gè)力感測(cè)對(duì)均包括力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧，其中，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧位于彼此附近，并且其中，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧中的至少一個(gè)包覆有電絕緣涂層，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧在該電絕緣涂層處彼此抵靠或鄰接。

根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方案，測(cè)試點(diǎn)裝置包括多個(gè)插座，其中，所述多個(gè)插座布置成矩陣形式。

特別地，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧直接位于彼此附近。特別地，可限定有區(qū)域，在所述區(qū)域中力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧彼此鄰接。該區(qū)域可以包括一個(gè)或多個(gè)區(qū)(在所述區(qū)中力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧彼此鄰接)。特別地，在力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧彼此抵靠或鄰接的區(qū)域中，力接觸彈簧或感測(cè)接觸彈簧中的任一個(gè)包覆有電絕緣涂層。術(shù)語(yǔ)“矩陣”可以指至少2x1或1x2的陣列。

術(shù)語(yǔ)“插座”可以指所謂的“開爾文插座”、“開爾文接觸插座”或簡(jiǎn)單的“接觸插座”，用作接觸彈簧的容器，所述接觸彈簧適于接觸單個(gè)電子部件或所謂的“DUT”(“被測(cè)器件”)的末端。

詞語(yǔ)“力感測(cè)對(duì)”可以指使用四端子感測(cè)，也稱為開爾文感測(cè)(或4線測(cè)量)。同時(shí)被設(shè)計(jì)成將力感測(cè)對(duì)連接至DUT的單個(gè)末端或?qū)Ь€的接觸對(duì)通常被稱為開爾文接觸。因此，力感測(cè)對(duì)可以包括具有與感測(cè)接觸彈簧的輪廓非常類似的輪廓的力接觸彈簧。特別地，力接觸彈簧和感測(cè)接觸彈簧可以在很大程度上是一致的(congruent，疊合)。

詞語(yǔ)“接觸彈簧”可以指導(dǎo)電彈簧，包括：用于接觸DUT的末端的尖端；DUT側(cè)伸出臂，尖端位于其端部處，所述DUT側(cè)伸出臂允許尖端的彈性移動(dòng)；測(cè)試器側(cè)尖端，用于接觸所謂的DUT板；以及測(cè)試器側(cè)伸出臂，測(cè)試器側(cè)尖端位于其端部處，所述測(cè)試器側(cè)伸出臂允許測(cè)試器側(cè)尖端的彈性移動(dòng)。取決于在開爾文接觸中接觸彈簧是用作力接觸還是感測(cè)接觸的電目的，“接觸彈簧”這個(gè)名稱可以適用于詞語(yǔ)“力接觸彈簧”和“感測(cè)接觸彈簧”。接觸彈簧可以通過用線切割EDM來切割金屬片而一體形成。

短語(yǔ)“位于彼此附近”可以指接觸和鄰接意義上的相鄰。位于彼此附近的表達(dá)可以明確地意指在某個(gè)點(diǎn)、某條線或某個(gè)區(qū)處相遇并接觸。詞語(yǔ)“測(cè)試點(diǎn)裝置”可以指插座(測(cè)試插座或特別地開爾文插座)的矩陣布置。特別地，插座矩陣可以布置在所謂的DUT板上，在ATE(自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備)中實(shí)現(xiàn)從DUT到測(cè)試器的電接觸。