[發(fā)明專利]一種基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710801839.9 | 申請(qǐng)日: | 2017-09-07 |
| 公開(公告)號(hào): | CN107632276A | 公開(公告)日: | 2018-01-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 于盟盟 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 于盟盟 |
| 主分類號(hào): | G01R33/032 | 分類號(hào): | G01R33/032 |
| 代理公司: | 深圳市精英專利事務(wù)所44242 | 代理人: | 馮筠 |
| 地址: | 528100 廣東省佛山*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 基于 超磁致 伸縮 薄膜 磁場(chǎng) 檢測(cè) 系統(tǒng) | ||
1.一種基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),包括LD光源、光纖定向耦合器、光電探測(cè)器、匹配液、Y型光纖本體和磁場(chǎng)傳感器,其中,所述磁場(chǎng)傳感器包括:
第一傳感探頭,直接構(gòu)造在Y型光纖本體第一端部處,用于檢測(cè)磁場(chǎng)內(nèi)的溫度以作溫度補(bǔ)償基礎(chǔ);和
第二傳感探頭,用于檢測(cè)磁場(chǎng)內(nèi)的磁場(chǎng)強(qiáng)度,其中,所述第二傳感探頭包括:
D型光纖光柵懸臂梁,直接構(gòu)造在Y型光纖本體第二端部處,
金屬薄膜,涂覆在所述D型光纖光柵懸臂梁上表面處,
超磁致伸縮薄膜,布置在所述金屬薄膜表面處,以感應(yīng)磁場(chǎng)的強(qiáng)度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述光纖定向耦合器為2*2光纖定向耦合器,其具有第一端口至第四端口,所述第一端口與所述LD光源連接,所述第二端口與所述Y型光纖本體的輸入端連接,第三端口通過光纖與所述光電探測(cè)器連接,所述第四端口與所述匹配液連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述第三端口與所述光電探測(cè)器連接之間的光纖上設(shè)有匹配光柵。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述D型光纖光柵懸臂梁構(gòu)由所述Y型光纖本體的第二端部通過微機(jī)械加工出D型懸臂梁,再在所述D型懸臂梁處的纖芯處光刻光柵結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述光柵結(jié)構(gòu)構(gòu)造成傾斜光柵結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述第二傳感探頭與所述Y型光纖本體為一體化結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述超磁致伸縮薄膜的厚度為0.5μm-2μm。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述超磁致伸縮薄膜呈長(zhǎng)條狀,所述超磁致伸縮薄膜的寬度按等于纖芯的直徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超磁致伸縮薄膜的磁場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng),其特征在于,所述金屬薄膜為金或鉻。
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